| 焦位置信息检测器,显微镜装置和焦位置信息检测方法。 |
| JP2010254770 2010-11-15 发明申请 |
| 2012-6-7 |
| 要解决的问题 : 提供一焦点位置信息检测器,一显微镜装置和一种焦位置信息检测焦位置信息的方法,其使能准确检测。溶液 : 一焦点位置信息检测器1包括一个图像传感器2,一个级4,一光源6,一种光源控制部9,和一种焦位置信息获取部10。所述图像传感器2包括多个像素线和工作在一个滚动快门方式。该级4朝向所述图像传感器2通过一种显微光学系统3和被移动在所述该显微光学系统3的光学轴方向。所述光源6所述级光4。所述光源控制部9使该光源6发出的光间歇地在一个间隔较长比所述像素的光接收时间线。该焦点位置信息获取部分10获取基于所述的显微光学系统3上的焦点位置信息在一个由所述图像传感器2拍摄的图像的同时移动该级4。版权 : (C)2012,inpit |