显微镜装置
 
JP2010258036  2010-11-18  发明申请

2012-6-7
 
  要解决的问题 : 以两维扫描照明光,而不改变所述样品上聚焦的照明光的能力。溶液 : 本发明提供一种显微镜装置1包括 : 一空间光调制元件14,其调制所述的波前照明光L; 一扫描器7,其中二维地扫描所述的照明光L从所述空间光调制元件14通过枢转反射镜7a和7b; 中继光学系统8中继所述扫描器7中的一个图像到一个光瞳位置的一个物镜光学系统9; 一调制区域控制部10,其中所述空间光调制元件上移动一个调制区14这样的使该图像在所述物镜光学系统9所述光瞳的位置,当所述反射镜7A和7B是静止的,是在所述方向相反的方向移动,其中所述图像中被中继到所述光瞳位置。所述物镜的光学系统9通过中继光学系统8,当该图像在所述空间光调制元件14被固定和所述反射镜7a和7b分别枢接,被移动; 和一束移机构5和10,其使所述的光L的输入为所述空间光调制元件14移动,使得所述调制区域和一个照明区域通过所述的照明光L在所述空间光学与每个其它调制元件14被对准。版权 : (C)2012,inpit
 
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