| 扫描电子显微镜中自由放大倍数的校准方法 |
| KR1020100127699 2010-12-14 发明授权 |
| 2012-6-7 |
| 目的：提供一种扫描电镜自放大率调节方法，通过扫描电镜按任意放大率自动调节，无需反馈控制，测量物体的准确尺寸。 构造：根据电子物镜和工作距离之间的相关性计算聚焦控制系数(S101)。 在控制聚焦之后，通过根据工作距离修正图像的形状来计算形状校正系数。 在图像的形状校正之后计算实际尺寸系数。 通过根据任意放大率确定设备设定值，函数系数成为数据库(S113)。 根据样本保持台和电子物镜之间的距离相关性，计算与工作距离相应的零点系数。 版权KIPO 2012 |
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