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电子显微镜中的光学探测

US13260059 2010-4-15 发明申请

2012-6-7

本发明涉及一种光学装置，特别是涉及一种用于电子显微镜应用的光学装置。其用于样品表征，同时用样品的电子显微镜进行测量，并用光学装置和/或使用用于探测光源或扫描探针装置的操纵器进行测量。