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用于标记中有缺陷的半导体芯片的半导体晶片的方法利用在光-光显微镜，包括拉针形支架从非标记剂的液体部分，使得芯片上的虚拟点包括标记

DE102011100984 2011-5-10 发明授权

2012-5-31

一个过程和描述了一种装置，其用于控制研究之后的所述标记用于故障识别的半导体芯片在该盘具有一个光-光显微镜的帮助联盟。所述缺陷的地方是保证容易重新获取由该标记用于该目的的该调查的溶解性高，elektronenund离子束的分析方法的装置，而不影响所述缺陷的地方。