| 用于并行系统实体物质显微镜物镜 |
| JP2010252267 2010-11-10 发明申请 |
| 2012-5-31 |
| 要解决的问题 : 提供一种用于一平行的系统实体物质显微镜物镜，所述物镜被设置，从而抑制所述图像向上弯曲的现象由于不对称失真像差，通过使用一种非球面表面。溶液 : 一个对象的透镜102(102a)包括，在顺序从一可变功率的光学系统侧到一物体表面侧; 一个第一透镜组G1中包括一个负透镜(l12指示的图。1)其凹形面被朝向一可变功率的光学系统侧和具有负折射光焦度作为一个整体; 和一个第二透镜组G2)包括由透镜的胶合透镜(一种胶合透镜l21到l23和一种胶合透镜由图中的透镜l24和l25。1)和具有正折射光焦度作为一个整体。在所述的至少一个面构成第二透镜组G2的非球面透镜面(第十三和第十四中的面图。1)。所述非球面表面满足以下条件表达式 : 3.5 |
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