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| - 工艺条件对中频磁控溅射CIGS薄膜的影响
- 作者：张健;巴德纯;赵崇凌;杜广煜;刘坤; 来源期刊：功能材料 年卷号：2016(5).5227-5230
- 摘要：AlO薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N_2O和TMA特气比例制备氧化铝膜层样品,并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试
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- 离轴倾角磁控溅射生长氧化锌薄膜及其物性研究
- 作者：张寅曼;闫婷婷;张法智; 来源期刊：石油化工 年卷号：2016(5).521-527
- 摘要：采用两步法,在金属铝表面通过浸涂法制得一层致密的SiO_2涂层,再以此为基体采用原位生长法制备类水滑石(LDH)薄膜,得到LDH/SiO_2复合薄膜。采用XRD和SEM等手段对复合薄膜的晶体结构和形貌进行了表征,考察了SiO_2涂层干燥温度、LDH薄膜生长温度、生长时间等条件对LDH薄膜形貌及?
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- 原子层沉积制备纳米TiO_2薄膜研究进展
- 作者：佘秋明;曹良良;陈燕;宋新山;王宇晖;宋... 来源期刊：真空科学与技术学报 年卷号：2016(5).510-514
- 摘要：利用原子层沉积(ALD)法分别在Si和石英衬底上制备了Ti O_2薄膜,并在N2氛围下对Ti O_2薄膜样品进行退火处理。采用X射线衍射、原子力显微镜和场发扫描电子显微镜对不同退火温度下样品晶体结构、表面形貌进行了分析。利用紫外-可见分光光度计对不同退火温度下的Ti O_2薄膜进行了I
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- 磁控溅射过程中衬底温度对氧化锌薄膜物性的影响
- 作者：于长明;刘春阳; 来源期刊：科技展望 年卷号：2016(5).51
- 摘要：本论文采用射频磁控溅射在单晶Si衬底上制备Zn O薄膜,研究了不同衬底温度对Zn O薄膜形貌、结晶和发光等物性的影响。
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- Sb掺杂对SnO_2薄膜光电性能的影响研究
- 作者：张兵;周佳玲;王丹;吴永红;李琳;王同华... 来源期刊：功能材料 年卷号：2016(5).5018-5021+5029
- 摘要：以介孔分子筛SBA-15为模板剂,聚酰亚胺为前驱体,经共混、成膜、炭化及脱模板过程,制备了有序多孔炭膜材料(OPCM)。通过热失重、红外光谱、电子显微镜和X-射线衍射,分别对前驱体热稳定性、膜表面官能团、微观形貌与微观结构进行了表征。考察了SBA-15脱除前后的炭膜微观结构与形?
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