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| - 射频功率对富硅-氮化硅薄膜结构及性质影响
- 作者:谭伟;徐军;王行行;陆文琪; 来源期刊:真空科学与技术学报 年卷号:2016(10).1092-1098
- 摘要:采用RF反应磁控溅射在Si(111)基片上制备了多晶AlN薄膜,研究了工作气压对AlN薄膜晶面择优取向的影响。利用台阶仪、X射线衍射(XRD)、红外吸收光谱(FTIR)对AlN薄膜的沉积速率、晶体结构、化学结构及成分进行了表征。结果表明:工作气压对AlN薄膜晶面择优取向具有十分显著的影响,?
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- Bi_(0.9)La_(0.1)FeO_3铁电薄膜光伏效应研究
- 作者:马强;方浩天;吴志威;孔继周;周飞; 来源期刊:润滑与密封 年卷号:2016(10).107-115
- 摘要:综述BCN基薄膜微结构以及摩擦学特性的研究进展;分析元素含量对BCN基薄膜微结构的影响,并阐述薄膜微结构对薄膜机械特性和摩擦学特性的影响。指出:BCN基薄膜微结构受到薄膜制备参数的影响;薄膜机械特性与薄膜微结构有关,而薄膜摩擦学特性与薄膜微结构和摩擦试验环境相关。同时?
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- Si衬底上插入SiO_2膜对Ag纳米颗粒陷光性能的影响(英文)
- 作者:安涛;邓晓芳;王丽丽;宋立军; 来源期刊:功能材料 年卷号:2016(10).10235-10238+10244
- 摘要:利用磁控溅射方法在Si(111)衬底上制备了厚度为1μm的非晶SiN_x薄膜,采用纳米压痕方法研究了薄膜的变形和断裂行为。傅立叶变换红外光谱显示实验获得了较为纯净的SiN_x薄膜。SiN_x薄膜在纳米压痕下呈现出放射状的脆性断裂特征,随着压入深度的增大,放射状裂纹的长度逐渐增加。最
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- 掺氮纳米金刚石薄膜的微观结构对微波场发射性能影响
- 作者:许立;熊鹰;王兵;韩汶洪;刘兴龙;方利平... 来源期刊:稀有金属 年卷号:2016(10).1015-1020
- 摘要:采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,通过改变CH_4浓度,在单晶Si(100)基底上制备掺氮纳米金刚石(NCD)薄膜,并以所制备的掺氮NCD薄膜为阴极材料,通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力扫描探针显微镜(AFM)、Raman光谱和S波段射频电子枪等测试方法系统地研究了掺氮N
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- 基于模糊神经网络PID的塑料薄膜厚度控制系统设计
- 作者:洪言情;王平;朱雪珂;王强;范雪荣; 来源期刊:功能材料 年卷号:2016(10).10076-10080
- 摘要:弹性蛋白有良好的弹性、稳定性和生物相容性,可作为构建组织工程复合材料的组成部分。本文以4种不同的酚类物质为介体,通过酪氨酸酶催化氧化介体从而对弹性蛋白进行酶法交联,并借助静电纺丝方法制备纳米纤维膜。结果表明,酪氨酸酶能催化氧化酚类介体物质,且酶催化效"率与酚类物
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