|
| - 分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究
- 作者：谢传钵 来源期刊：光电工程 年卷号：1996,23(4).-65-72
- 摘要：介绍了“１．５－２微米实用型分步重复投影光刻机”用的精密快速定位工台的设计，结构特点，精度分析，检测及使用情况。工件台由大行程Ｘ－Ｙ工件台，微动台和调平微转台组成。同时该工件台利用大行程Ｘ－６工件台粗动兼微动与调平微转台的组合完成了“１０：１分步重复投影光刻机”的研制。
-
- 光子图象统计检验的计算机模拟
- 作者：陈天明 俞信 来源期刊：光电工程 年卷号：1996,23(4).-22-26
- 摘要：分析了超高灵敏度光电成象系统和光子图象的特点，提出了用斯米诺夫检验来判断图象中有无信号，并用计算机模拟生成光子图象进行检验，得到了相关的三个因素对检验结论影响的量化关系。计算机模拟方法以及模拟过程得到的结论对于研究极弱光强条件下的图象信号探测有一定的指导意义。
-
- i—line光刻高无效照明系统光能分布的计算模拟
- 作者：周崇喜 林大键 来源期刊：光电工程 年卷号：1996,23(2).-1-6
- 摘要：叙述了ｉ－ｌｉｎｅ光刻高均匀照明系统的均匀照明原理，以及其具有特殊面形、特殊结构、超光学表面的光学系统光能分布计算模拟的原理、方法。作为例子，用编写的程序计算模拟了我们近来设计的一曝光系统几个重要光学表面上具有权重的点列图和光能分布曲线。
-
- 光纤耦合成象系统的光学传递函数计算和分析
- 作者：阎丽 朱耆祥 来源期刊：光电工程 年卷号：1996,23(1).-29-34
- 摘要：主要分析了光纤与ＣＣＤ耦合技术各单元的参数的关系，通过变换实验系统中耦合物镜的参数，得到了不同的实验结果，从理论上给出了整个系统传递函数的数学模型，并对实验系统作模拟计算，与实验结果进行比较，分析出对实验系统光学传递函数的影响因素。
-
- M2高速钢模具材料静态与动态弯曲性能
- 作者：杨瑞成 季根顺 来源期刊：甘肃工业大学学报 年卷号：1996,22(4).-27-31
- 摘要：对比研究了１０８０－１２２５℃奥氏体化并淬火及２００－６２０℃回火的多种条件下Ｍ２高速钢模具材料的静弯曲，疲劳及冲击弯曲性能，并探讨了工艺及冶金因素对它们的影响。试验表明这些性质能指标成倍地在大范围变动，影响抗弯强度的主要工艺参数是回火温度，相应的冶金因素是马氏体基体的固有强度与塑性。
-
|