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| - 基于宏微驱动的光刻机掩模台控制系统设计
- 作者：饶裕;刘杨;齐彪;李杨;王岩; 来源期刊：自动化技术与应用 年卷号：2017,36(10):61-64
- 摘要：光刻是集成电路制造环节的一项重要工艺,主要通过光刻机来完成。作为其重要组成部分,掩模台的性能直接决定了能生产的芯片制程和效率,其工作特点对掩模台提出各种要求,例如:大行程、高精度等。本文采用了一种宏微结合的控制方案,即宏动部分实现大行程粗定
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- 多物理场耦合研究电感线圈电镀铜
- 作者：苏世栋;冀林仙; 来源期刊：电子元件与材料 年卷号：2017,36(10):46-52
- 摘要：采用多物理场耦合方法构建了电感线圈电镀铜模型,通过有限元分析获得了电感线圈电镀铜过程中铜离子浓度分布、线圈表面电流密度与镀层分布状况,探讨了象形阳极与阴阳极距离对镀层厚度分布的影响。数值模拟结果表明,采用象形阳极与绝缘挡板有助于提高线圈表面
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- 铝基覆铜板导热系数测试方法
- 作者：任成伟;师剑军;张勇;王海龙; 来源期刊：测控技术 年卷号：2017,36(10):24-27
- 摘要：铝基覆铜板(即铝基板)是电子产品的基板材料,其低导热率是设备器件可靠性、稳定度和使用寿命的保证,因此关于其导热系数测试方法的研究有着重要的意义。针对传统测试方法的不足,提出一种基于标准样本参比法和温度场函数法的新的导热系数测试方法——综合法
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- 一种高效的安全SoC芯片抗功耗攻击方案
- 作者：杨苏;杨颖辉; 来源期刊：实验室研究与探索 年卷号：2017,36(10):149-152
- 摘要：安全芯片有资源受限的问题,这致使椭圆曲线密码算法抵抗功耗攻击的方案在效率和安全两方面产生了矛盾。首先利用带符号的整数拆分形式对标量进行编码,并采用预计算和标量分割技术把标量乘运算变换成一组椭圆曲线上的点的点加运算,进而利用基点掩码实现椭圆曲
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- 基于关键路径与改进遗传算法的最佳占空比求解
- 作者：徐辉;李丹青;应健锋;李扬; 来源期刊：传感器与微系统 年卷号：2017,36(10):124-128
- 摘要：纳米工艺下,负偏置温度不稳定性(NBTI)成为影响电路老化效应的主导因素。多输入向量控制(M-IVC)是缓解由于NBTI效应引起电路老化的有效方法,而M-IVC的关键是最佳占空比的求解。在充分考虑时序余量的设计与电路实际操作情况下,对电路采
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