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  • 金属钨化学机械研磨清洗缺陷研究及解决方法
  • 作者:王雷;    来源期刊:集成电路应用    年卷号:2017,34(08):59-62
  • 摘要:通过研究金属钨化学机械研磨(W CMP)后清洗的一种水痕状的缺陷(Water mark like defect),经过一系列的实验,我们发现这种缺陷产生的原因是具有钨插塞(W Plug)结构的晶片在清洗中WO_3被溶解,并在随后的烘干环节中

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  • LV_HV兼容N-Well CMOS芯片与制程结构
  • 作者:潘桂忠;    来源期刊:集成电路应用    年卷号:2017,34(08):51-55
  • 摘要:LV/HV兼容N-Well CMOS技术,该技术能够实现低压5 V与高压100~700 V(或更高)兼容CMOS工艺。为了便于高低压MOS器件兼容集成,采用具有漂移区的偏置栅结构的HV MOS器件。改变漂移区参数可以得到不同的高压。使用MO

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  • 复杂电路功耗自测试方法研究与仿真
  • 作者:张明亮;    来源期刊:计算机仿真    年卷号:2017,34(08):433-436
  • 摘要:对电路分布路径低功耗内建自测试,在电路故障检测方面具有重要意义。电路功耗内建自测时,需对电路构造距离序列进行寻优,传统方法主要通过对电路的X位做低功耗填充,无法对电路构造距离序列进行寻优,导致故障测试结果不准确。提出无关位填充的电路低功耗内

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  • 一种基于扫描链的硬件木马检测新方法
  • 作者:王林;魏敬和;周昱;于宗光;王乔;    来源期刊:微电子学与计算机    年卷号:2017,34(08):38-41+46
  • 摘要:本文提出了一种基于动态电流-静态电流(Iddt-Iddq)的检测方法,在电路设计阶段插入扫描链进行分区设计相结合的硬件木马检测技术,选用Can总线控制器电路作为实验电路,在电路设计阶段将电路分区并插入扫描链,然后进行流片,选用源表、专用PC

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  • 应用于NOR FLASH的可切换极性电荷泵研究
  • 作者:张亦锋;马亮;    来源期刊:集成电路应用    年卷号:2017,34(08):36-40
  • 摘要:Dickson电荷泵是最常用的产生芯片内部高压的方法。在嵌入式或者单独的非易失性存储器中,经常利用多个电荷泵来产生正的高压和负的高压。利用高压Deep N-Well的NMOS设计了可以切换极性的电荷泵,可以根据需要产生正的高压或者负的高压。

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