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| - 铜CMP碱性抛光液中氧化剂的电化学行为研究
- 作者:贾英茜;牛新环;腰彩红; 来源期刊:微电子学 年卷号:2017,47(04):586-589+592
- 摘要:化学机械抛光(CMP)工艺是IC工艺中大马士革工序的关键步骤。抛光液的电化学行为研究对抛光质量的控制具有重要意义。采用电化学测试手段,研究碱性抛光液中氧化剂(H_2O_2)对铜表面钝化膜的成膜影响,分析H_2O_2对抛光速率、表面粗糙度的影
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- 一种用于射频接收机的模拟基带电路
- 作者:王红敏;林敏;王若愚; 来源期刊:微电子学 年卷号:2017,47(04):542-547
- 摘要:设计了一种无线传感网射频接收机中的基带电路,包括滤波器和可变增益放大器(VGA)。滤波器采用5阶切比雪夫型有源RC结构,带宽可调,具有自动调谐功能,能适应制造工艺与环境条件的变化。VGA由2阶放大器与1阶缓冲器组成,每阶放大器拥有一个DCO
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- 一种基于微分法的峰值检测电路
- 作者:张陶; 来源期刊:微电子学 年卷号:2017,47(04):537-541
- 摘要:提出了一种基于微分法的峰值检测电路,它包含微分电路、双沿触发比较器和采样保持电路。微分电路对输入信号进行微分变换,双沿触发比较器比较微分变换结果与参考电压,得到采样保持控制信号,以控制采样保持电路的正常工作,实现峰值检测功能。该检测电路具有
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- 基于ToT的PET成像前端读出ASIC设计与实现
- 作者:曾蕙明;魏廷存; 来源期刊:微电子学 年卷号:2017,47(04):523-527
- 摘要:To T(Time-over-Threshold)读出策略是在PET成像中利用信号的时间宽度同时获取能量和时间信息的方法。基于To T的前端读出电路具有简单、高效、功耗低、面积小的优点。采用0.35μm CMOS工艺,设计并实现了基于To
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- 一种基于亚稳态的真随机数发生器
- 作者:樊凌雁;朱亮亮;骆建军;方立春;刘海銮; 来源期刊:微电子学 年卷号:2017,47(04):519-522+527
- 摘要:设计实现了一种64位输出的真随机数发生器。在传统Fibonacci环形振荡器和Galois环形振荡器的基础上,通过控制电路使环形振荡器的输出在亚稳态与稳态之间不断切换,为生成的随机序列引入真随机性。通过加入后处理模块,提高随机序列的质量和增
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