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| - 微混合器的研究现状
- 作者：姜枫;刘国君;杨志刚;王腾飞;唐春秀;梁... 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2016,53(03):166-176
- 摘要：微混合器作为实现流体混合的关键部件,成为微流控系统和全微分析系统领域的研究热点。一般将微混合器分为主动微混合器和被动微混合器,根据此分类方法,介绍了两类微混合器的混合机理,详细地阐述了目前国内外较为典型的几种微混合器的原理、结构、混合性能、
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- 面向3维片上网络的轻量级细粒度容错机制
- 作者：周君;李华伟;王天成;李晓维; 来源期刊：计算机研究与发展 年卷号：2016,53(02):341-353
- 摘要：片上网络(networks-on-chip,NoC)是3维集成电路的主要通信技术之一.其中,路由器是3维片上网络的重要组成部件.现有的面向3维片上网络中路由器的容错技术,通常采取路由器整体冗余技术或者直接舍弃失效路由器的方法,这导致网络资源
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- 基于PMMA的微流控芯片的微液滴制备与控制
- 作者：穆莉莉;荣莉;黄友锐;郭书恒; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2016,53(02):108-113
- 摘要：论述了以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为盖板和底板、以聚酯膜为通道层的微流控芯片的制作流程。设计并制作了多个形状不同的微流控芯片,进行了实验研究和数据分析,系统研究了T型微通道法液-液两相产生微液滴的过程。分别从微流控芯片的通道尺寸、形状和流
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- GLSI铜互连层CMP后碱性清洗液的研究
- 作者：顾张冰;刘玉岭;高宝红;王辰伟;邓海文; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2016,53(01):48-53
- 摘要：研究了铜互连层在化学机械平坦化(CMP)后表面残余缺陷的去除机理,并采用以碱性螯合剂(FA/OⅡ型)和非离子表面活性剂(FA/OⅠ型)为主的碱性清洗液清洗其表面,然后用缺陷检测系统和扫描电镜分析清洗后的表面,以检测不同浓度清洗液的清洗效果。
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- 纳米CMOS电路在单粒子效应下可靠性研究进展
- 作者：刘保军;蔡理;刘小强;刘鹤鸣;胡凡俊; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2016,53(01):1-6
- 摘要：随着特征尺寸的不断缩减,器件结电容减少、工作电压降低,使纳米CMOS电路对单粒子效应(SEE)更加敏感,同时伴随着明显的单粒子串扰、多结点翻转等现象,严重影响其工作可靠性。基于纳米CMOS电路在SEE下的可靠性,从基本电离损伤机理、SEE对
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