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| - 湿法腐蚀清洗设备中的循环管路应用
- 作者：吴光庆; 来源期刊：电子工业专用设备 年卷号：2017,46(02):16-18+35
- 摘要：湿法腐蚀清洗设备是集成电路、LED、太阳能、MEMS等芯片制造中必不可少的工艺设备,而为了更好的达到腐蚀效果,在各种腐蚀工艺中往往要配合药液的循环完成,从而达到更好的腐蚀均匀性。介绍了几种常用的腐蚀工艺循环原理及在湿法腐蚀清洗设备的典型应用
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- 单晶圆注入机注入角度测量与补偿系统设计
- 作者：袁卫华;钟新华;彭立波; 来源期刊：电子工业专用设备 年卷号：2017,46(02):11-15
- 摘要：在超大规模集成电路生产线宽45 nm及以下的注入工艺环节中,离子束注入晶圆角度精度控制变得愈显重要,注入角度的细小差别引起掺杂元素在晶体管中的分布深度和范围的变化,进而导致器件参数和性能的巨大变化。研究表明注入角度控制取决于对注入离子束与晶
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- 印制电路板中加成法制备技术的研究进展
- 作者：周正勇;陈旭东; 来源期刊：合成材料老化与应用 年卷号：2017,46(01):72-74+84
- 摘要：自从1946年美国炮弹引信上使用银浆印制陶瓷基印制板以来,印制电路板是电子器件最重要的组成部分之一,甚至称为电子信息产业的心脏。该文基于加成法制备技术,分析目前主流及文献报导的制作工艺及其前景,更加全面地了解印制线路板领域及投资环境。
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- TO252封装产品可靠性改善研究
- 作者：温莉珺;费智霞; 来源期刊：电子工业专用设备 年卷号：2017,46(01):39-42
- 摘要：在共模的条件下,TO252单基岛-双芯片封装产品因为粘片胶烘烤产生的挥发物质相互扩散造成框架/芯片沾污,及引线框架与塑封料之间的包容强度不够,容易发生离层现象;研究通过优化框架结构,在TO252引线框架基岛中部加"T"形孔,显著提高了产品的
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- KVM延长器系统的信号完整性分析
- 作者：赵子伦;马幼鸣;赵宏图;杜鹃; 来源期刊：电子技术 年卷号：2017,46(01):27-29+26
- 摘要：随着电子产品的系统时钟不断变高,数据传输速率越来越快,印刷电路板的布线结构等就会产生更多的问题,这就产生了电磁兼容(EMC)以及信号完整性的问题,文章借助信号完整性分析工具Hyper Lynx仿真软件,对基于LT86101及LT86102的
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