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| - 氧化剂在TSV铜膜CMP中钝化机理
- 作者：张燕;刘玉岭;王辰伟;闫辰奇;邓海文; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2015,52(11):737-740
- 摘要：为实现TSV硅衬底表面铜去除速率的优化,对影响TSV铜去除速率的最主要因素抛光液组分(如磨料、螯合剂、活性剂和氧化剂)中的氧化剂进行分析。通过对不同体积分数的氧化剂电化学实验进行钝化机理的研究,从而得到最佳的氧化剂体积分数,再进行铜的静态腐
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- 磨料粒径对多层Cu布线CMP的影响
- 作者：武鹏;周建伟;何彦刚;刘玉岭;秦然;张燕... 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2015,52(11):733-736
- 摘要：阐述了碱性抛光液中磨料的质量传递作用对多层Cu布线化学机械抛光(CMP)过程中抛光速率和抛光后晶圆表面状态的影响,通过对比不同磨料粒径抛光液在3英寸(1英寸=2.54 cm)铜晶圆上的抛光实验结果,分析了不同磨料粒径抛光液的抛光速率以及抛光
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- 基于微细加工技术的高精度荧光检测生物芯片
- 作者：李以贵;黄远;颜平;杉山进; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2015,52(11):707-712
- 摘要：荧光检测生物芯片在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用。利用荧光修饰核酸探针可以在液相态中检测到c-fos mRNA致癌基因信息或病毒性核糖核酸(RNA)。通过微细加工技术分别制造了变深度微沟道和变宽度微沟道,目的是找到微生物荧光检
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- 增强的基于生物密钥智能卡远程身份认证方案
- 作者：徐钦桂;黄培灿;杨桃栏; 来源期刊：计算机研究与发展 年卷号：2015,52(11):2645-2655
- 摘要：基于生物特征的智能卡身份认证提供智能卡硬件、口令验证、生物特征识别三重保护,给身份认证技术带来新的突破点.回顾了具有较高安全性能的Khan-Kumari方案工作原理,指出该方案存在身份密值封装不当、密值使用方式不合理、新鲜性检测功能缺失、认
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- 基于异步时钟的SoC功耗约束测试调度优化
- 作者：凌立;江建慧; 来源期刊：计算机研究与发展 年卷号：2015,52(11):2589-2598
- 摘要：测试调度是一种能有效减少片上系统(system-on-chip,SoC)测试耗时(test application time,TAT)以降低测试成本的经典技术.然而,随着功耗问题的日益加剧,功耗约束成为测试调度中必须考虑的重要问题.可以调节
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