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| - 钨CMP中碱性抛光液组分间化学作用及其影响
- 作者：贾英茜;牛新环;王现彬; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2015,52(05):334-338
- 摘要：CMP工艺水平很大程度上依赖于抛光液的组分及配比,组分之间的相互作用是化学机械抛光的研究内容之一。对以纳米SiO2为磨料、H2O2为氧化剂、有机碱为pH调节剂的钨碱性抛光液组分之间的化学相互作用进行理论分析。纳米SiO2表面存在不饱和的羟基
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- 微流控芯片上水中油滴及其体积分数测量技术
- 作者：吴章嘉琛;孙润哲;潘新祥;宋永欣; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2015,52(05):310-317
- 摘要：提出了一种用差分电阻脉冲微流控芯片快速检测水中油份含量的技术。采用注射泵将模拟油污水样品恒流量在微流控芯片主通道进行输运,主通道两端施加一定幅值的直流电压。当水中油滴通过电阻脉冲检测(RPS)的检测区域时,使检测区域的电阻发生变化,从而改变
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- TSV立体集成用Cu_Sn键合工艺
- 作者：张巍;单光宝;杜欣荣; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2015,52(04):266-270
- 摘要：为实现硅通孔(TSV)立体集成多层芯片可靠堆叠,对一种具备低温键合且不可逆特点的Cu/Sn等温凝固键合技术进行了研究。基于Cu/Sn系二元合金平衡相图,分析了金属层间低温扩散反应机理,设计了微凸点键合结构并开展了键合工艺实验。通过优化键合工
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- 微流控芯片上电晕放电式大气颗粒物检测方法
- 作者：周航;刘嘉夫;宋永欣;潘新祥; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2015,52(04):251-255
- 摘要：报道了一种可检测大气中微米级颗粒物尺寸并计数颗粒个数的方法和检测系统。微通道检测区域处布设一对微电极,微流道两侧施加一定幅值的直流电,使得检测区域的空气发生电晕放电,形成电流回路。当注射泵驱动颗粒物流经检测区时,会导致检测电极间的电阻发生改
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- 一种新型PCB数字光刻投影成像技术
- 作者：刘志涛;周金运;刘丽霞;郭华;邝健; 来源期刊：激光与光电子学进展 年卷号：2015,52(04):167-172
- 摘要：为了满足微米量级印刷电路板(PCB)光刻的需求,提出了一种新型PCB数字光刻投影成像技术。利用ZEMAX光学设计软件设计并优化了双高斯结构型光刻投影物镜。该物镜具有双远心结构,可以避免数字微反射镜(DMD)偏转产生离焦,分辨率可达13.68
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