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| - CMP后清洗中非离子表面活性剂对Cu表面状态的影响
- 作者：杨柳;檀柏梅;高宝红;李凤英;李海清; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2017,54(10):710-714+724
- 摘要：为解决化学机械平坦化(CMP)后Cu表面存在表面粗糙度大、侵蚀等问题,以表面活性剂为基础研制新型碱性清洗剂。采用对比实验研究了脂肪醇聚氧乙烯醚(JFC)、聚乙二醇(PEG)、高碳脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)和FA/O四种非离子表面活性剂的表面
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- 基于介电电泳的粒子分离微流控芯片实验
- 作者：吴菲;曾一笑;樊磊;谭秋林;孙东; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2017,54(10):694-698+705
- 摘要：根据介电电泳原理,设计了一种梯形叉指的微电极结构,用于粒子的连续分离。首先利用COMSOL软件分析梯形叉指电极的电场分布,确定芯片中电场强度最大值和最小值的位置,并分析粒子在微流控芯片中的受力情况。然后,采用微电子机械系统(MEMS)工艺,
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- 一种改进的穿硅电容三维互连技术
- 作者：刘松;单光宝; 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2017,54(08):558-564
- 摘要：针对硅通孔(through-silicon via,TSV)背面通孔外露工艺复杂度与成本较高、易遗留工艺隐患的问题,提出一种改进的穿硅电容(through-silicon capacitor,TSC)三维互连技术。首先,介绍TSC结构特点与
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- 微流体内基于水力聚焦的单细胞流形成的仿真
- 作者：程景萌;张思祥;李新冉;杨丽;王媛媛;姜... 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2017,54(03):168-172+180
- 摘要：基于COMSOL Multiphysics5.2仿真模型,数值模拟了在宽100μm的微通道中以水力聚焦形式形成单列细胞流,并在聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为主体材料的微流控芯片实验中得到验证。在COMSOL仿真软件中建立层流、粒子追踪模块物
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- 三明治式介电泳细胞富集芯片的优化设计与实现
- 作者：樊磊;曾一笑;吴菲;白国花;谭秋林;孙东... 来源期刊：微纳电子技术 年卷号：2017,54(03):162-167
- 摘要：以优化芯片结构、提高细胞富集效率为目的,基于常见的二维叉指电极,设计了三明治式叉指微流控芯片结构;使用COMSOL软件仿真对比了二维与三明治式芯片内部的电场强度和介电泳力,从而优化了三明治式芯片的尺寸;通过微机电系统(MEMS)工艺制作三明
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