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| - 组合式静电透镜系统,用于离子注入
- 中文摘要:一种系统和方法被提供用于注入离子在较低的能量进入工件(109)。离子源,配置成产生离子束,所述质量分离磁铁(102)被配置成质量解决离子束。离子束可以是带状射束或扫描离子束。质量解析孔(103)位于下游的质量分离磁铁过滤器不希望物质从离子束。组合式静电透镜(106)系统位于下游的质谱分析仪,所述离子束路径偏转和污染...
- 申请日:2015-12-28 申请号::WOUS15067732
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- 质谱仪
- 中文摘要:一种质谱仪,包括 : 电离单元,被配置为电离分析物气体; 过滤单元,其被配置为仅允许目标离子通过,所述目标离子是在所述电离单元中电离的所述分析物气体的成分并且具有特定的质荷比; 以及离子检测单元,被配置为基于已经通过所述过滤单元的所述目标离子来检测离子检测值, 其中,所述离子检测单元包括法拉第电极,所述法拉第电极包...
- 申请日:2015-12-28 申请号::US14980824
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- 系统和方法用于离子注入机中的光束角调整与梁减速
- 中文摘要:离子注入系统(110)利用一个质量分析器(126),用于质量分析及角度的修正。离子源产生的离子束(124)沿着射束路径。位于下游的质量分析器的离子源进行质量分析,角度校正在离子梁。分辨孔(134)内孔组件(133)位于下游的质量分析器组件和沿在光束路径上。在解析孔具有的尺寸和形状根据选择的质量分辨率和横梁的信封离子...
- 申请日:2015-12-28 申请号::WOUS15067728
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- 高效的分子离子反应质谱简易装置及其操作方法
- 中文摘要:本发明提出了一种高效的分子离子反应质谱简易装置及其操作方法。高效的分子离子反应质谱简易装置包括一套离子阱质量分析器、试剂分子导入离子阱精确控制系统、缓冲气流量导入精确控制系统、真空规及离子阱气压自动调节功能模块。此外,本发明还提出了一种操作上述系统进行高效分子离子反应、精确测量分子离子反应产物的方法。
- 申请日:2015-12-28 申请号::CN201511001140.1
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- 离子选择方法及装置
- 中文摘要:本发明涉及一种离子选择方法及装置,其中离子选择方法,包括步骤:根据与飞行时间质谱仪脉冲同步的延时触发信号,输出触发指令;根据触发指令控制脉冲参数,输出预设脉冲;预设脉冲包括单脉冲或序列脉冲;脉冲参数包括脉冲宽度和延时时间;根据预设脉冲控制脉冲电源模块向微通道板输出高压脉冲;当不需要检测的离子到达所述微通道板时,根据...
- 申请日:2015-12-28 申请号::CN201511018437.9
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