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  • 一种SiC高温高能铝离子注入机
  • 中文摘要:本发明公开了一种SiC高温高能铝离子注入机,包括:离子源,用来生成含铝的离子;离子束传输系统,用来传输铝离子束流;包括依次设置的引出系统、质量分析器、分析光栏、加速管、垂直扫描电极板及平行束透镜;引出系统将离子源产生的离子引出并形成离子束;离子束依次通过质量分析器和分析光栏后束通过加速管加速,加速后的离子束经过透镜...
  • 申请日:2015-12-11    申请号::CN201510912879.1

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  • 四极型质量分析装置和残余气体分析方法
  • 中文摘要:本发明的课题是不带电的中性粒子的颗粒通过,同时减少噪音等,离子更有效地仅检测被引导到探测器。离子源电离样品并[a]21,21在入口到出口的内部通过从离子源产生的离子成四极部(23)和出口,所述的四极杆离子检测器(241)和出口(23)抽出的部分,施加预定电压的电压源和检测器(241)的四极型质谱仪定量所述四极23穿...
  • 申请日:2015-12-11    申请号::JP2015242480

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  • 电连接装置以及具有这种电连接装置的质谱仪
  • 中文摘要:一种高压馈通组件,包括沿纵向延伸的电引线和捕获电引线并沿电引线延伸的绝缘盖。 所述高压馈通组件还包括凸缘,所述绝缘盖延伸穿过所述凸缘并由所述凸缘保持,使得所述电引线延伸穿过所述凸缘。 适配器主体具有延伸穿过其中的空腔, 保持与凸缘间隔开的关系,空腔的宽度大于绝缘盖的宽度,其中绝缘盖的一部分和从凸缘延伸的电引线延伸到...
  • 申请日:2015-12-10    申请号::DE102015016009

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  • 一种真空计测量薄膜气体渗透率的装置和方法
  • 中文摘要:本发明公开了一种真空计测量薄膜气体渗透率的装置和方法,解决现有质谱仪渗透率测试系统存在的成本的问题以及压力传感器法测量系统存在的灵敏度低的问题。本发明的装置包括气源和高真空泵,所述气源经管道和减压阀连通有气体室,所述气体室连通有用于放置被测薄膜的渗透室,所述渗透室配设有渗透室加热器,所述渗透室连通有测量室,所述测量...
  • 申请日:2015-12-10    申请号::CN201510915889.0

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  • 一种夹层喷雾离子源装置及离子化方法
  • 中文摘要:一种夹层喷雾离子源装置及离子化方法,属于质谱分析领域。本离子源装置包括高压电源和至少两个叠层布置的夹片,每两个相邻夹片之间形成样品承载区,用于承载液体样品;相邻夹片与其两夹片之间的液体样品组成一组半封闭式的夹层结构;对于每组夹层结构中的夹片分为形状相同的上夹片和下夹片;上夹片和下夹片朝向质谱仪进样口方向的一端带有一...
  • 申请日:2015-12-9    申请号::CN201510902679.8

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