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| - 一种带电粒子束反射器，质谱仪，质谱仪和成像
- 中文摘要：[A]的劣化，空间分辨率的带电粒子光学反射器。[解决方法]一种反射镜(9)的带电粒子束，带电粒子入射电极(91)具有多个孔，每一孔的孔，一种带电粒子射束被反射。至少一个电极的所述多个孔191，91具有多个开口，每个开口与横跨中心轴线的相对布置的电极2(901)901B，B)902和902(901, 902)，包括一...
- 申请日：2015-11-30 申请号：：JP2015234310
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- 用于半导体制造中污染物识别的质谱系统和方法
- 中文摘要：一种质谱仪系统，包括 : 配置成接收样品的室； 气体源，所述气体源耦合到所述腔室，用于跨所述样品输送气体； 以及解吸能量源，被配置为从样品的测试区域解吸污染物。 所述系统还可包括质谱仪，所述质谱仪包括真空源、离子源、质量分析器和检测器，以及毛细管传送线，所述毛细管传送线可操作地耦合到所述室和所述质谱仪，并且被配置为...
- 申请日：2015-11-30 申请号：：US14954053
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- 电离法，电离质谱仪
- 中文摘要：[问题]，而不管样品的极性，各种高效离子化样品分子的方法。[解决手段]根据本发明的方法电离，使用质谱法，电离后的样品前处理，样品被喷射，所述电离过程，一种12.4纳米或更小的软X射线辐射的波长为0.124纳米的喷镀试样，所述样品可以在分子离子，软X-射线照射步骤包括，软X-射线照射步骤，及离子化过程，0.5kPa压...
- 申请日：2015-11-27 申请号：：JP2015231644
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- 离子照射装置和使用该表面分析器
- 中文摘要：[问题]通过照射的投影形成的样品中的主离子抑制传播的时间TOF E SIMS，质量分辨率质量提高精度。[解决方案]一次离子的离子束导件部(3)为导引面S的样品，在正交的正交方向上加速的离子加速部件4，5的无场飞行空间中，形成反射场离子反射器(6)，离子光学系统的反射器的收敛时间，达到TOFMS。双级式离子反射镜，磷...
- 申请日：2015-11-26 申请号：：JP2015230616
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- FT-IR ICR的FT-ICR质谱仪测量单元与双工器
- 中文摘要：一种ICR测量单元(01)与双工器(08)与一个或多个半导体部件(05，06，07)装置中使用的FT-IR ICR-质谱与用于产生磁场的超导磁体在Z轴方向，其中所述双工器部的发送和接收装置(09)英尺的FT-ICR-质谱装置，将其传送到一方面保护电压一种离子激发期间使发射机的相位发送(03)至少一个电极(11)IC...
- 申请日：2015-11-26 申请号：：EP15196455
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