|
| - 真空处理装置及质谱仪
- 中文摘要：在真空室的下运动目标的情况下，举例来说可以充分地抑制。真空处理装置(100)，(1)和真空室，真空室(1)设于其中，(2)和待加工物体放置在载物台上，真空室(1)内，载物台(2)和导轨(31)内，(1)(102)(103)形成的真空室壁上有通孔，(2)相对于所述台的一端相连接，所述通孔(103)插入，所述连接杆(4...
- 申请日：2015-11-20 申请号：：JP2017551499
-
- 真空处理装置和质谱分析仪
- 中文摘要：在负载锁定室与处理室之间移送对象物并且将负载锁定室和处理室分割开的动作所需要的时间被抑制得较短。真空处理装置(1)包括：处理室(3)，能够使其内部为真空状态；负载锁定室(2)，其与处理室(3)相连续地设置，能够在大气状态和真空状态之间切换；连通部(10)，其使处理室(3)与负载锁定室(2)连通；载置台(5)，其供作...
- 申请日：2015-11-20 申请号：：CN201580084642.7
-
- 用于缓解改变的装置和方法质谱在氢的存在下，
- 中文摘要：气相色谱-质谱仪，包括离子源，其实现了或覆盖壁与至少一个石墨烯层。从而实现，气体色谱图的质谱仪证明是特别适合于分析的样品中含氢加成到待分析的物质。这种情况通常发生在所述质谱仪被耦合到气相色谱仪是利用氢气作为载体气体。
- 申请日：2015-11-20 申请号：：WOIB15058998
-
- 真空处理装置及质谱仪
- 中文摘要：所述负载锁定室和处理室和装载锁室之间转移物体的处理室并除以缩短了操作时间。(1)真空处理，真空处理室(3)和内部的情况，处理室(3)连接，和(2)之间可切换的负载锁定腔室在真空状态下的气氛条件下，(2)(3)和腔室(10)和一负载锁定室的连通部，(10)(3)(2)的处理室和装载锁室之间通过连通部活动，(5)和待加...
- 申请日：2015-11-20 申请号：：JP2017551498
-
- 真空处理装置和质谱分析仪
- 中文摘要：能够充分抑制在使对象物在真空室内移动时产生释气。真空处理装置(100)包括：真空室(1)；载置台(2)，其配置在真空室(1)的内部，供作为处理对象的对象物载置；内部导轨(31)，其铺设在真空室(1)的内部，用于引导载置台(2)；贯通孔(103)，其形成于真空室(1)的侧壁(102)；连结棒(4)，其一端与载置台(2...
- 申请日：2015-11-20 申请号：：CN201580084663.9
-
|