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  • 质谱分析系统及检测方法
  • 中文摘要:本发明提供了一种质谱分析系统及其工作方法,所述质谱分析系统包括真空腔、抽气泵;进一步包括:气源,所述气源连接制冷器的输入端;制冷器,所述制冷器的输出端连接转换部件的进口;转换部件,所述转换部件设置在所述真空腔的一侧,内部具有锥体,锥体底部的外围设置通孔,所述通孔的轴线与所述真空腔的轴线异面;流体通道,所述流体通道设...
  • 申请日:2014-12-31    申请号::CN201410855408.7

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  • 一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪
  • 中文摘要:本发明涉及一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪,包括:第一真空室、第二真空室、第三真空室、第四真空室;所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括:第一调谐部件,所述第一调谐部件为泵,与各级真空室相连,调节所述各级真空室的压力;第二调谐部件,所述第二调谐部件使各级真空室相互连通,调节所述各级真空室之间的压力。本发明还提...
  • 申请日:2014-12-31    申请号::CN201410855708.5

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  • 质谱分析系统
  • 中文摘要:本实用新型提供了一种质谱分析系统,所述质谱分析系统包括真空腔、抽气泵;进一步包括:气源,所述气源连接制冷器的输入端;制冷器,所述制冷器的输出端连接转换部件的进口;转换部件,所述转换部件设置在所述真空腔的一侧,内部具有锥体,锥体底部的外围设置通孔,所述通孔的轴线与所述真空腔的轴线异面;流体通道,所述流体通道设置在所述...
  • 申请日:2014-12-31    申请号::CN201420866867.0

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  • 一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪
  • 中文摘要:本实用新型涉及一种可调真空压力的电感耦合等离子体质谱仪,包括:第一真空室、第二真空室、第三真空室、第四真空室;所述电感耦合等离子体质谱仪进一步包括:第一调谐部件,所述第一调谐部件为泵,与各级真空室相连,调节所述各级真空室的压力;第二调谐部件,所述第二调谐部件使各级真空室相互连通,调节所述各级真空室之间的压力。本实用...
  • 申请日:2014-12-31    申请号::CN201420872348.5

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  • 具有可变能量控制离子注入系统和方法
  • 中文摘要:提供了一种用于在工件上以变化的能量注入离子的离子注入系统和方法。 该系统包括配置成将掺杂剂气体电离成多个离子并形成离子束的离子源。 质量分析器位于离子源的下游,并被配置成对离子束进行质量分析。 减速/加速级位于质量分析仪的下游。 能量过滤器可以形成减速/加速级的一部分,或者可以位于减速/加速级的下游。 提供具有与其...
  • 申请日:2014-12-29    申请号::US14584252

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