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| - 离子源、重粒子束照射装置、离子源驱动方法及重粒子束照射方法
- 中文摘要:激光烧蚀等离子体发生器从真空容器中的目标产生激光烧蚀等离子体。 离子束提取器通过从真空容器提取包含在激光烧蚀等离子体中的离子来产生离子束。 离子检测器从真空容器中的离子中检测除目标中的元素电离获得的预期离子之外的非预期离子,并输出表示非预期离子的数量或非预期离子与预期离子的混合比的值的检测信号作为检测结果。 使用激...
- 申请日:2013-2-20 申请号::US13771818
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- 所述掩模坯料,用于传送和制造方法。
- 中文摘要:一掩模坯料具有这样的结构,其一个衬底上形成一薄的膜,所述掩模坯料被其特征在于,所述薄膜含有至少一个元件包括一材料选自钽,钨,锆,铪; 钒,铌,镍,钛,钯,钼和硅,和所述至少一个离子选择的标准化二次离子强度从一钙离子,镁离子和铝离子为1。~×当所述的表面10a-3或更少所述薄膜是由时间--飞行的测量二次离子质谱(TO...
- 申请日:2013-2-19 申请号::JP2013029740
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- 电子电离装置
- 中文摘要:用于质谱分析的分析装置(1)包括电子撞击电离器,包括 : 一个电子发射器22和一个电离目标区域18,其用于分析被电离的填充物质。电子引出元件36对准的电子路径34之间限定电子发射器(22,电离目标区18;和加快电子离开发射器22之间沿电子路径34的发射器22和提取元件36;和减速的电子之间沿电子路径34提取元件36...
- 申请日:2013-2-19 申请号::GB1302818
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- 装置允许改进的反应气相的反应监测在使用自动喷射离子阱质谱仪
- 中文摘要:[docdb]质谱的方法包括提供碰撞或反应单元(例如射频四极杆离子导向器或者离子阱)并使前体离子发生碰撞,反应,分解或片段以形成产品或子离子。宽带激发频率槽口施加到碰撞或反应池中并对排出的产物离子从碰撞或反应区,和装置设置,以确定当片段的次数或产品离子注入。不同的前体离子(A,B)可以作出反应与试剂离子C或其片段,...
- 申请日:2013-2-18 申请号::GB1302785
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- 改进的效率和精确控制气相反应在使用自动喷射离子阱质谱仪
- 中文摘要:[docdb]质谱的方法包括提供碰撞或反应单元(例如射频四极杆离子导向器或者离子阱)并使母体离子发生碰撞,反应,分解或片段以形成产品或子离子。具有频率的宽带激发3的槽口4应用于碰撞或反应细胞,从而使产品离子被基本喷出的碰撞或反应池,同时母离子保持被捕获。丢失的陷波频率可以长期频率周围的母离子和试剂离子(A,b)。产...
- 申请日:2013-2-18 申请号::GB1302783
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