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| - 一真空处理过程中使用的组件
- 中文摘要:一组件用于使用一真空处理过程中,该组件包括一处理室1。气体分析装置,以所述腔室1内的样品并分析所述气体组合物是提供,所述气体分析装置包括一测量装置14基于任一微型质量光谱仪上或在一个微型等离子体源,其是位于一个细长壳体18。所述壳体18的部分是位于所述处理室1内,使得所述气体是分析在该腔室1。该工艺可以被控制在响应...
- 申请日:2013-2-4 申请号::WOIB13050941
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- 一种射频电场增强的单光子-化学电离源
- 中文摘要:本发明涉及质谱仪电离源,具体的说是一种射频电场增强的单光子-化学电离源,该电离源包括真空紫外光源,离子产生和传输区以及电离室真空腔体;在电离离子产生和传输区内平行、间隔设置有若干传输电极和真空差分孔电极;沿电极的轴线方向都开有通孔,真空紫外光源发射的紫外光沿此轴线方向入射到孔电极上;传输电极和孔电极上分别施加有直流...
- 申请日:2013-2-1 申请号::CN201310041475.0
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- 用于提高灵敏度的方法和装置在一质谱仪
- 中文摘要:一种离子源和一个离子导向室被提供。所述离子导腔室具有一气体流量,所述气体流具有一个纵向速度和一横向速度。所述离子导腔室具有一个出口孔和至少一个离子导向。所述至少一个离子导具有一入口端和一个出口端与一出口的横截面。所述出口的横截面的尺寸要小的区域中比所述入口的横截面。所述至少一个具有多个细长的电极的离子导其中所述细长...
- 申请日:2013-2-1 申请号::WOIB13000131
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- 用于提高质谱仪灵敏度的方法和装置
- 中文摘要:提供了一种离子源和离子引导室。 所述离子引导室具有气流,所述气流具有纵向速度和横向速度。 所述离子引导室具有出口孔和至少一个离子引导件。 所述至少一个离子引导件具有入口端和出口端,所述出口端具有出口横截面,其中所述出口横截面的面积小于所述入口横截面的面积。 所述至少一个离子引导件具有多个细长电极,其中所述细长电极之...
- 申请日:2013-2-1 申请号::US14375489
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- 用于提高灵敏度的方法和装置在一质谱仪
- 中文摘要:离子是一种高压力区中产生并被传递到一个真空室具有一个入口和一个出口孔径。该配置所述入口孔和所述的高压力区之间的压力差和所述真空室提供了一种超声自由射流预定直径膨胀,其具有一筒的冲击。至少一个离子之间的导向是提供所述入口和出口孔具有一预定的横截面限定一个内部体积其中所述的横截面的所述至少一个离子导的是,其尺寸可在至少...
- 申请日:2013-2-1 申请号::WOIB13000137
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