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| - 用于质谱仪入口的低电导硅微泄漏的系统、方法和设备
- 中文摘要:提供了系统、方法和设备,在一些实施例中,质谱仪微泄漏通过这些系统、方法和设备包括由半导体处理工具制造的多个通道,并且包括提供通道通路的多个入口孔。
- 申请日:2010-9-23 申请号::US12889014
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- 质谱仪
- 中文摘要:本发明提供了一种质谱仪,包括离子源,所述离子源包括依次安装在同一中轴线上的推斥电极、引入电极、聚焦电极和引出电极。所述引入电极、聚焦电极和引出电极中央分别具有供离子束穿过的中央通孔,所述推斥电极为具有一敞口的罩壳,且该敞口朝向所述引入电极。本发明中,推斥电极是一种敞口的罩壳,罩壳的这种特定的立体几何形状具有包围空间...
- 申请日:2010-9-21 申请号::CN201010289329.6
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- 质谱仪
- 中文摘要:本实用新型提供了一种质谱仪,包括离子源,所述离子源包括依次安装在同一中轴线上的推斥电极、引入电极、聚焦电极和引出电极。所述引入电极、聚焦电极和引出电极中央分别具有供离子束穿过的中央通孔,所述推斥电极为具有一敞口的罩壳,且该敞口朝向所述引入电极。本实用新型中,推斥电极是一种敞口的罩壳,罩壳的这种特定的立体几何形状具有...
- 申请日:2010-9-21 申请号::CN201020539000.6
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- 激光烧蚀质谱仪
- 中文摘要:要解决的问题 : 提供一种激光烧蚀质量顺利供应的分光镜一种固体样品研磨形成的气溶胶样品从烧蚀室涉及一种ICP-MS装置,和良好的清洗的烧蚀室内部的性能方法 : 激光烧蚀质量分光镜100包括 : La装置(10)包括烧蚀室3; 和一种ICP-MS装置20。烧蚀室3包括,作为双层管结构,外管32和内管31。内管31包括...
- 申请日:2010-9-17 申请号::JP2010209681
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- 离子回旋共振测量单元与谐波捕捉电位
- 中文摘要:本发明涉及用于所采集的设备和方法具有非常高的质量分辨率质谱在离子回旋共振质量光谱仪和方法,以产生所述的设备。本发明提出的圆柱形ICR测量单元与专用电极几何形状,以产生谐波捕捉电位的用于轨道离子所述电池到所述的壁上。仅一个单一直流陷入电压具有与被施加到创建所述谐波捕捉电位分布。所述护套的所述圆柱形电池是通过纵向间隙分...
- 申请日:2010-9-17 申请号::WOEP10063698
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