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| - 用于质谱仪入口的低电导硅微泄漏的系统，方法和设备
- 中文摘要：本发明提供了系统，方法和设备，在一些实施例中，质谱仪微泄漏包括多个由半导体处理工具制造的通道，并且包括多个入口孔，所述入口孔提供对所述通道的访问。
- 申请日：2007-9-27 申请号：：US11862550
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- 质量分析系统
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提高定量通过区分质谱数据的可靠性特别是一种降低在所述的可靠性定量结果通过该离子的抑制效果在所述的质谱数据。溶液 : 该质量分析系统包括一个分离装置，用于分离一个样品，以使所述的光谱分量被设置在所述经过时间的顺序和一质量分析装置，用于分析所述部件的所述各自的光谱使所述光谱被设置在所述的顺序一个质量...
- 申请日：2007-9-26 申请号：：JP2007249572
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- 用于改进的技术离子束传输
- 中文摘要：一个用于本发明公开了一种改进的离子注入技术。在一个特定的示例性实施例中，该技术可以被实现为一离子注入系统包括一个离子源用于产生一个离子束，一个质量分析器，用于选择一个希望的离子物质从所述离子中的离子颗粒束，离子减速器配置，以减少所述离子束中离子的能量，一个端站，用于支撑至少一个工件要从所述离子束与离子注入，和一种中...
- 申请日：2007-9-26 申请号：：WOUS07079539
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- 与质谱仪一起使用的多个样品源及其装置，装置和方法
- 中文摘要：本发明描述了一种用于将样品引入通过边界构件的方法，所述边界构件在与质谱仪的采样入口同轴的入口处部分地限定腔室。 可以在腔室的至少一个区域中建立无场条件。 所述样品可以邻近所述取样入口引入，并且引入至少第二样品可以通过所述室中不邻近所述取样入口的至少一个其它入口点引入。 本发明还描述了一种装置，该装置具有一个取样入口...
- 申请日：2007-9-25 申请号：：US11860899
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- 多个与质谱仪样品源的使用，和设备，装置及其方法
- 中文摘要：用于将样品引入方法通过边界构件部分地限定腔室的入口点同轴的描述了一种质谱仪采样口。无场条件下可以建立在所述腔室的至少一个区域。样品可以被引入靠近取样口，以及将至少第二通过至少一个其它样品可以被引入室中的入口点不相邻的取样进口。一种装置，具有进样口和边缘构件部分地限定腔室也被描述。无场条件下可以建立在所述腔室的至少一...
- 申请日：2007-9-25 申请号：：CA2663698
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