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| - 采用磁扫描离子束装置和方法
- 中文摘要：一种多用途离子注入机束线配置，包括质量分析器磁体，接着是磁扫描器和将弯曲引入束路径的磁准直器组合， 该束线构造成能够注入普通单原子掺杂离子种类的团簇离子， 所述束线配置具有质量分析器磁体，所述质量分析器磁体在所述磁体的铁磁极和质量选择孔之间限定了大致宽度的磁极间隙， 所述分析器磁铁的尺寸被设计成接受来自槽形离子源提...
- 申请日：2007-6-13 申请号：：US12301557
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- 用于离子注入磁分析器装置和方法
- 中文摘要：在一种磁分析装置中，高压绝缘(86，94)将磁体励磁线圈(40)、电源线(90)和冷却流体线(92)与扇形磁体的铁磁组件(26、28、30、32、34)隔离，并且线圈电源被设置在接地壳体(E)中。在一种磁分析装置中，高压绝缘(86，94)将磁体励磁线圈(40)、电源线(90)和冷却流体线(92)与扇形磁体的铁磁组件...
- 申请日：2007-6-13 申请号：：US12303485
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- 离子束装置和方法采用磁扫描
- 中文摘要：一种多用离子注入机束线的配置包括一个质量分析仪磁体，随后通过一个磁扫描装置和磁准直器束中引入的弯曲到所述的组合路径，该束线共同的单原子构成用于使注入掺杂剂离子物质的簇离子，该束线的配置具有一个质量分析仪磁体限定一极之间的相当大的宽度的间隙所述磁铁的铁磁性极和一质量选择孔径，该分析器磁体尺寸，以接受一离子束从一槽形成...
- 申请日：2007-6-13 申请号：：WOUS07013985
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- 磁分析器装置和方法用于离子注入
- 中文摘要：一磁分析装置中，高电压绝缘(86，94)隔离所述磁铁励磁线圈(40)，电源引线(90)和冷却流体线(92)从所述铁磁组件(26，28，30，32，34)一个扇区的磁铁，和所述线圈电源是一接地外壳中设置(E)。一套筒(94)，含有电电源引线和冷却流体线，形成一绝缘体通过所述磁体组件，以所述线圈(40)和包围所述线圈是...
- 申请日：2007-6-13 申请号：：WOUS07013850
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- 使用条状和点状离子束之离子植入装置及方法
- 中文摘要：一种离子植入装置其系揭露具有多段操作模式, 离子植入装置具有离子源及离子分析装置以汲取出带状离子束。离子植入装置包含磁体分析装置以选择具有特定质谱分析比的离子通过一质量狭缝以投射於基材上, 多极透镜提供控制离子束均匀度及对准性。本发明揭露两个路径的离子束, 而其第二个路径整合一可过滤能量的减速或加速系统。最後植入的...
- 申请日：2007-6-12 申请号：：TW096121211
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