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| - 用于监测和控制等离子体过程的技术
- 中文摘要：本发明公开了一种原位离子传感器，用于监测等离子体室中的离子种类。 所述离子传感器可以包括 : 漂移管； 引出电极和设置在漂移管的第一端的多个静电透镜， 其中所述提取器电极被偏压以从所述等离子体室中的等离子体吸引离子， 以及其中所述多个静电透镜使所吸引的离子的至少一部分进入所述漂移管并在有限的发散角内朝着所述漂移管的...
- 申请日：2006-3-10 申请号：：US11371907
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- 质量分析仪
- 中文摘要：与常规的质量分析仪，当离子被会聚在一高频率领域一个比较高的气体压力条件下，如果发生停滞的离子减速具有显著的延迟，以使降低检测灵敏度和一个重影中的峰值。在本发明的质量分析仪，一透镜电极(40)具有多个的组的四个电极设置在多个阶段在几乎相等的距离在一个离子光学轴线(C)的方向，每个组的四个电极被定位在一平面几乎垂直于所...
- 申请日：2006-3-10 申请号：：WOJP06304707
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- 质量分析仪
- 中文摘要：本发明提供了一种质量分析仪提供与一个离子源包括一个灯丝。一种导电热屏蔽板(11)与一热电子的通道开口(12)之间被插入其中的钻一灯丝(3)和一个电离室(2)。该热屏蔽板(11)是热连接通过一个铝块(10)到一加热器，用于调节所述该电离室(2)的温度以大约200至300A°C和电设定到一接地电位，其是基本相同的电位为...
- 申请日：2006-3-9 申请号：：WOJP06304608
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- 质量分析仪
- 中文摘要：本发明提供了一种质量分析仪提供与一个离子源包括一个灯丝(3)。所述用于产生热电子的灯丝(3)是两个支柱之间安装(10)，(11)。所述比所述线之间的所述灯丝的直径B(3)和所述的中心-中心间隔一个所述两个支柱(10)，(11)，I。E。，B\/一个，被设置到所述的范围中的一个值0.025至0.032，和所述数量之间...
- 申请日：2006-3-9 申请号：：WOJP06304609
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- 质谱分析装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一质量光谱测定装置适用于提高灵敏度和分析的精度一个使用质量光谱仪的时间--飞行质谱仪，以执行所述基于所述之间的差在飞行时间质谱待测离子的质量。溶液 : 一栅电极是提供一种离子的储层提供在一个前置级在前一注入的部分注入离子。所述栅电极可施加一电压设置用于每个质量数区，和进一步，通过改变在所述一...
- 申请日：2006-3-9 申请号：：JP2006063480
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