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| - 具有提取透镜装置的质谱仪接口
- 中文摘要：本实用新型是一种具有提取透镜装置的质谱仪接口，在承载件内依次设置采样锥、截取锥、一级提取透镜及二级提取透镜，所述采样锥设置第一通孔，所述截取锥设置第二通孔，所述一级提取透镜设置桶状的通道，所述二级提取透镜设置第三通孔，所述一级提取透镜的所述通道伸入所述截取锥的内侧斜面区域内，所述截取锥与所述一级提取透镜之间设有间隙...
- 申请日：2022-6-24 申请号：：CN202221603351.8
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- 用于离子注入工序的原子筛除装置
- 中文摘要：一种原子筛除装置，用于半导体制造工艺的离子注入工序，其包括第一原子筛除模块和第二原子筛除模块。第一原子筛除模块包括扇形质量分析器，第二原子筛除模块包括第一电极板对、第二电极板对、第一驱动器和第二驱动器。扇形质量分析器筛除偏转半径大于扇形质量分析器的外侧壁或小于扇形质量分析器的内侧壁的元素，第二原子筛除模块筛除偏转半...
- 申请日：2022-6-24 申请号：：CN202210730885.5
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- 质谱仪的接口和提取透镜装置
- 中文摘要：本发明是一种质谱仪的接口和提取透镜装置，在承载件内依次设置采样锥、截取锥、一级提取透镜及二级提取透镜，所述采样锥设置第一通孔，所述截取锥设置第二通孔，所述一级提取透镜设置桶状的通道，所述二级提取透镜设置第三通孔，所述一级提取透镜的所述通道伸入所述截取锥的内侧斜面区域内，所述截取锥与所述一级提取透镜之间设有间隙，所述...
- 申请日：2022-6-24 申请号：：CN202210738701.X
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- 质谱仪
- 中文摘要：质谱仪，包括： 滤质器，包括棒状电极37、保持棒状电极的保持器38、其上放置保持器的保持器支撑件39、以及利用弹簧的弹力将保持器推压并固定在保持器支撑件上的扁平弹簧43； 温度传感器(48、53)； 以及控制器58，其基于来自温度传感器的测量信号来控制施加到棒状电极的高频电压的电压值，其中，温度传感器固定到扁平弹簧...
- 申请日：2022-6-23 申请号：：WOJP22025028
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- 一种质谱检测的激光调节组件
- 中文摘要：本发明涉及质谱检测技术领域，尤其涉及了一种质谱检测的激光调节组件，其结构包括：固定座、支撑块、Z轴正负运动调节装置、水平运动调节装置、Z轴倾斜运动调节装置、滑片、激光器连接柱、盖片、调整架、光纤接头，支撑块安装在固定座。本发明的组件简单易调节，并且组件小巧不占过多空间。通过Z轴正负运动调节装置、水平运动调节装置与Z...
- 申请日：2022-6-23 申请号：：CN202210720452.1
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