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  • 具有定量再现性的激光解吸电离质谱仪
  • 中文摘要:激光解吸/电离飞行时间质谱仪(“LDI-TOF-MS”)装置, 以及精确测量样品中所含分析物的质量并且还以一致的方式在单个仪器上以一致的方式随时间测量样品中存在的分析物的量的方法。 具体地说,本发明提供了LDI-TOF-MS装置和方法,其中 : 1)激光脉冲的能量和被照射样品的面积(通量)是一致的并受到控制,以产生...
  • 申请日:2005-6-17    申请号::US11155302

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  • 用激光解吸和电离质谱仪定量重现性
  • 中文摘要:激光解吸\/电离的时间--飞行质谱仪(“ldi-TOF-MS”)的装置,和方法,其准确地测量分析物的质量一个样品中所含的和其还测量该样品中分析物的存在量在一致的方式从仪-到-仪和在时间上的单仪。在特定的,本发明提供了ldi-TOF-MS装置和方法,其中 : 1)所述能量的激光脉冲和该样品被照亮的区域(流量)是一致和...
  • 申请日:2005-6-17    申请号::WOUS05021584

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  • 设备和方法用于降低所述离子碎片切断限制
  • 中文摘要:一质量分析器,用于隔离,粉碎性和扫描离子。所述质量分析仪包括一个离子阱具有第一电极,第第二电极相邻的第一电极; 和第一电极之间插入一个第三电极和第二电极,一个第一的RF源电连接到第一电极和第二电极和一个第二的RF电压源电连接到第三电极。第二射频电压源提供用于一第二用于粉碎性离子的电场和拓宽了潜在的应用所述的分段的截...
  • 申请日:2005-6-16    申请号::EP05013031

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  • 离子注入机,离子注入方法,和半导体装置的制造方法
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提高在-平面分布的均匀性的离子量注入到晶片表面。溶液 : 在幅度调制一个在一抽出的抽出电压的电压调制部12a,离子被拉出从一个离子源1,和从所述离子源引出离子束1被驱动到晶片W通过这种; 而展宽一束直径,注入能量成为能够具有一些纬度。由于这个,所述的杂质浓度分布可以由更少的陡在该深度方向,和所述...
  • 申请日:2005-6-16    申请号::JP2005176414

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  • 增强离子产生的装置和方法
  • 中文摘要:本发明提供了一种基于基质的离子源,该离子源包括气体加热装置,该气体加热装置用于在限定的温度下向离子源的电离区域提供加热的气体。 所述离子源还可以包括温度传感器。 加热装置和温度传感器可操作地连接以作为闭环反馈回路工作,以向电离区域提供恒定的,预定的温度的气体。 本发明还公开了一种具有所述基于基质的离子源的质谱仪系统...
  • 申请日:2005-6-16    申请号::US11155070

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