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| - 离子注入方法
- 中文摘要：本申请提供一种离子注入方法，采用离子注入机在晶圆中注入砷离子，并用于降低所述晶圆的金属污染含量，包括：通过所述离子注入机的离子源产生砷离子束，所述砷离子束包括多种不同质荷比的掺杂离子，所述不同质荷比的掺杂离子在磁场运动中的轨迹不同；采用所述离子注入机的质量分析器通过质荷比筛选出符合标准的掺杂离子，所述符合标准的掺杂...
- 申请日：2022-6-15 申请号：：CN202210675815.4
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- 一种在线质谱测量系统
- 中文摘要：本申请实施例公开了一种在线质谱测量系统，涉及质谱检测技术领域，能够方便的使样品进行气化，并将气化后的样品转换成质谱测量装置所要求的负离子，能够实现对样品的快速在线分析。本申请实施例提供的在线质谱测量系统包括样品气化装置、离子源模块、电荷装换装置和质谱测量装置。其中，样品气化装置用于放置样品并使样品气化；离子源模块连...
- 申请日：2022-6-15 申请号：：CN202210680527.8
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- 用于检测样品气体的气体分析装置和方法
- 中文摘要：本公开提供一种气体分析装置和检测样气的方法。 所述气体分析装置包括：离子迁移谱仪，所述离子迁移谱仪包括离子迁移管、依次设置在所述离子迁移管内的离子门、多个电极、抑制栅和法拉第板，其中，所述法拉第板被配置为接收从所述抑制栅放电的样品离子，所述法拉第板上设置有通孔； 质谱仪； 设置在所述法拉第盘和所述质谱仪的离子入口之...
- 申请日：2022-6-14 申请号：：US17806805
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- 定量小分子MALDI质谱仪
- 中文摘要：本发明提供了定量小分子MALDI质谱仪，包括：箱体，所述箱体的上方设置有箱盖，所述箱体的内部底面上设置有海绵板一，本发明体积小便于进行携带，本发明还设置有自动点样仪，通过自动点样仪对检测样品进行点样，这样可以不仅减少实验人员的工作量，而且增强整个检验平台的自动化水平。并且通过自动点样仪进行点样可以避免人工点样，导致...
- 申请日：2022-6-14 申请号：：CN202210672908.1
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- 一种环境空气颗粒物中无机元素在线监测设备
- 中文摘要：本发明公开了一种环境空气颗粒物中无机元素在线监测设备，包括颗粒物切割器，用于将待测环境空气样品引导入所述颗粒物切割器的泵，通过所述待测环境空气样品并将所述待测环境空气样品置换为惰性气体样品的气体置换装置，用于对所述惰性气体样品进行检测的电感耦合等离子体质谱仪；本发明解决了现有技术无法进行空气直接进样分析的问题，提供...
- 申请日：2022-6-10 申请号：：CN202210657979.4
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