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| - 在半导体处理系统中检测和量化自由基浓度的装置
- 中文摘要:本文公开的实施方案包括用于测量中性自由基浓度的处理工具。 在一个实施例中,该处理工具包括处理室,和与该处理室流体连接的中性自由基质谱(NRMS)分析仪。 在一个实施例中,NRMS分析仪包括流体地耦合到处理室的第一室,其中第一室包括调制器,以及流体地耦合到第一室的第二室,其中第二室是残余气体分析仪或质谱仪。 在一个实...
- 申请日:2023-12-28 申请号::IN202347089335
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- 四极杆射频电源扫描控制方法、系统及可读存储介质
- 中文摘要:本发明涉及四极杆射频电源扫描控制方法、系统及可读存储介质,扫描控制方法包括:判断质谱仪的扫描模式;若质谱仪的扫描模式为全扫描,则采用正三角波的形式进行扫描;若质谱仪的扫描模式为选择离子扫描,则待扫描的目标离子在扫描之前,先上升四极杆射频电源的直流电压达到目标时间之后,再上升四极杆射频电源的交流电压,以使在电压上升过...
- 申请日:2023-12-28 申请号::CN202311831759.X
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- 二噁英检测设备运维系统
- 中文摘要:本发明公开了一种二噁英检测设备运维系统,所述二噁英检测设备运维系统用于监测二噁英检测设备;二噁英检测设备运维系统包括:信号检测电路,用于检测二噁英检测设备的状态信息;工控机,与信号检测电路连接,用于接收信号检测电路输出的状态信息;所述工控机还分别与飞行时间质谱仪、流量计、预浓缩仪和气相色谱仪通信连接,用于获得连接的...
- 申请日:2023-12-27 申请号::CN202311821059.2
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- 一种质谱数据高效存储及读取方法
- 中文摘要:本发明涉及数据文件存储与读取领域,更具体地,涉及一种质谱数据高效存储及读取方法,具体包括以下步骤:S1:按照谱图产生的先后顺序进行数据采集,包括对质谱数据文件的信息以及对谱图数据的采集;S2:将预先自定义和采集过程得到的质谱数据文件的信息存储到信息域中;S3:对采集得到的谱图数据进行多层次压缩,然后存储到数据域中;...
- 申请日:2023-12-27 申请号::CN202311825283.9
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- 一种色谱峰复合解析方法及应用装置
- 中文摘要:本发明公开了一种色谱峰复合解析方法及应用装置,包括以下分析过程:定位色谱图中色谱峰的峰位置,获取峰位置的混合质谱图;对混合质谱图进行过滤,得到待测质谱图;将待测质谱图与质谱数据库进行匹配,得到质谱数据库中匹配项得分排名最高的前若干个标准成分信息,标准成分信息包括成分的名称、标准质谱图和匹配项得分;计算前若干个标准成...
- 申请日:2023-12-27 申请号::CN202311829627.3
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