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| - 使用质谱法的自由基的检测方法
- 中文摘要：提供了一种用于检测半导体制造组件中的工艺气体中的自由基的方法，其中半导体制造组件包括等离子体源和具有离子源的质谱仪。 该方法包括将离子与工艺气体分离并且确定测量工艺气体的固定电子能量。 连续地对半导体制造组件中的工艺气体进行采样。 使用所述质谱仪在所述电子能量处对所述采样的工艺气体执行第一测量，其中在所述等离子体源...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：KR1020237045427
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- 气体质谱仪小体积进样装置
- 中文摘要：本实用新型涉及质谱分析技术领域，公开了气体质谱仪小体积进样装置，它包括基体，基体上开设有相互连通的公共腔、样品通道、去离子源通道、进离子源通道以及针形阀通道，去离子源通道与针形阀通道分别位于公共腔的两端，针形阀通道远离公共腔的一端安装有针型阀，样品通道为N个且绕公共腔的延伸方向的周向分布，样品通道与去离子源通道均为...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202221342417.2
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- 用于固体药品质谱分析的激光软电离离子源及其控制方法
- 中文摘要：本发明公开了一种用于固体药品质谱分析的激光软电离离子源及其控制方法，包括远紫外光系统、离子传输系统以及离子源腔体；首先将样品置于离子源腔体的电离中心，利用远紫外光系统产生光子能量为10.5eV的远紫外光收束聚焦在红外解析后固体药品检测物质上，使其发生电离形成离子源，并通过离子传输系统进入质量分析器实现对固体药品的质...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202210607826.9
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- 利用质谱数据库搜索进行化合物识别的质谱仪
- 中文摘要：描述用于质谱法的实时搜索(RTS)。在一种情况下，由样品产生的前体离子在引入时间段期间被引入到质谱仪中。前体离子被碎裂以形成产物离子，并获取质谱。在引入时间段期间，识别指示质谱和候选质谱之间的相似性的分数。基于分数的分布，执行动作。
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202210608672.5
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- 一种用于质谱的新型离子阱及质谱仪
- 中文摘要：本实用新型公开了一种用于质谱的新型离子阱及质谱仪，所述新型离子阱为质谱仪的核心部件，用于电离、捕获、存储、碎裂和分离离子，本实用新型在离子阱本体的入口处设置有两个或多个电气不相连的半电极，半电极之间设有供气体分子通过的开口，半电极还连接有可改变电压的电压调节装置，电压调节装置能调节半电极上的电压以形成电场电离通过开...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202221335721.4
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