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| - 离子注入装置和方法用于制造半导体装置。
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种离子注入装置注入离子，同时控制得到的从沟道效应的影响用于每个衬底到被处理通过测量一种用于每个衬底表面方向。溶液 : 该离子注入装置注入杂质离子注入到硅晶片2具有一个台板1支撑该晶片2，一测角仪移动所述台板1，一种X-射线照射机构3的X-射线照射到所述晶片2的支持所述台板1，和一闪烁计数器...
- 申请日：2003-11-17 申请号：：JP2003386785
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- 质谱仪
- 中文摘要：
- 申请日：2003-11-17 申请号：：GB0326717
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- 程序和用于调查样本的器具massaspektrometri的装置
- 中文摘要：一种用于检查样品的方法和装置通过质谱分析。根据该方法，所述溶液包含待检样品中汽化的汽化器，汽化样本溶液喷涂，使用气体流，放入电晕放电区，其中根据所检查的样品电离的APCI的方法，用电晕放电，产生气相离子，所述离子进行分离并引导到检测器。根据本发明，一气化器使用，其制造为微机械结构，包括用于溶液流道和用于载气可能用于...
- 申请日：2003-11-14 申请号：：FI20031658
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- 正交加速的TIM--飞行时间质谱仪
- 中文摘要：正交加速的飞行时间(OA ToF)提供了质谱仪，其中所述推斥板形成离子储存器防止带电。这又避免大量的光谱分辨率和灵敏度的恶化。所述质谱仪具有(a)外离子源，用于产生离子，(b)空间，在该离子对向，(c)离子池由所述推斥板和栅格的设置在所述空间的相对侧加速离子在脉冲方式的空间，(d)的飞行时间质谱部分，用于质量ara...
- 申请日：2003-11-13 申请号：：GB0326517
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- 操作质谱仪以抑制不需要的离子的方法
- 中文摘要：在质谱系统中，提供了一种操作处理部分，例如碰撞池的方法。 所述方法基于这样的认识，即一些干扰离子在碰撞后将具有比所需分析物离子低得多的动能。 这些干扰离子可以是来自源的离子，或者是通过与气体颗粒反应形成的产物离子，或者是通过电池内的其它过程产生的离子。 值得注意的是，与所需的分析物离子相比，这些干扰离子可以具有较低...
- 申请日：2003-11-13 申请号：：US10476875
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