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  • 质量分析仪
  • 中文摘要:目的 : 一质谱仪是提供以除去曝光的分析仪室和防止所述的降低生产率由于对污染形成的凹槽和突起对应于所述相反的一个上侧和所述其它侧上的凹槽该分析仪室的内侧壁的两侧,分别。结构 : 一质谱仪被用于一种离子注入装置用于半导体制造,质量光谱仪包括一个分析仪室(231),多个电磁铁的安装在一个外该分析仪室的表面,和多个的导向...
  • 申请日:2003-6-9    申请号::KR1020030036833

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  • 具有灵活用户界面的质谱仪
  • 中文摘要:一种质谱仪,其包括位于质谱仪外壳上的托盘,用于接收便携式用户界面。 所述用户界面和所述托盘中的每一个都具有用于发射和接收电磁波辐射作为红外辐射的收发器端口。 更具体地说,托盘还包括串口连接器,并且便携式用户接口包括用于接收当用户接口安装在托盘上时连接的串口的接收器。
  • 申请日:2003-6-9    申请号::US10457597

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  • 质谱仪
  • 中文摘要:一种质谱仪具有一气体碰撞电池25。交流或RF离子导管22包括多个环形电极延伸的上游和/或下游的气体碰撞单元25,使得离子可以连续径向限制等离子体在它们通过从真空室28保持在相对低的压力,通过入口差分抽气开口29,以便气体对撞单元25,通过气体的碰撞腔25和然后流出气体的碰撞腔25通过出口差分泵浦孔30。
  • 申请日:2003-6-9    申请号::GB0313215

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  • 同位素比使用等离子体离子源极质量分析仪分析
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以精确地一等离子体离子源中的正确的同位素比率质谱分析,其中一个四重质量光谱仪(qms),如三-维dqms四极质谱仪(3a),被安装到一个质量分析仪部分。溶液 : 所述等离子体离子源极质量分析仪进行测量,通过使用该四极质谱仪(qms),如所述三-维四极质谱仪(3adqms),用于通过使用ICP质量分...
  • 申请日:2003-6-9    申请号::JP2003163454

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  • 质谱仪
  • 中文摘要:
  • 申请日:2003-6-6    申请号::GB0313054

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