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  • 离子阱质谱仪
  • 中文摘要:在一种离子阱质谱仪中,包括一个环形电极和一对彼此相对放置的端盖电极,其中离子阱空间由环形电极和一对端盖电极限定,控制器的频率确定部分确定多个频率或多个频率通道,每个频率或多个频率通道对应于要选择的离子的质量/电荷比。 宽带RF信号发生器产生具有多个凹口的宽带RF信号,每个凹口对应于多个频率或多个频率信道中的每一个。...
  • 申请日:2003-5-19    申请号::US10440113

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  • 质量光谱仪
  • 中文摘要:
  • 申请日:2003-5-16    申请号::GB0311567

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  • 介电膜的检查装置,检查方法以及半导体装置的制造方法
  • 中文摘要:在将样品放置在加热真空室中之后,探头被爬升到在样品中形成的电容器上方的位置,该电容器的电特性被认为是要被测量的。 探针与电容器的两个电极接触,这通过电学测量来确认。 为了测量电容损失,在加热真空室内充入N2气体之后,将混合气体从用于3vol%H2+97vol%N2的管线引入到加热真空室内。 在压力稳定之后,同时测量...
  • 申请日:2003-5-15    申请号::US10437892

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  • 质谱仪
  • 中文摘要:质谱法,其中离子具有特定的所需充电状态,例如多电荷离子,通过操作选择离子迁移分光计4,优选的离子隧道IMS,结合四极质量过滤器5。选定的离子进行分段或反应以形成子离子或产品碰撞单元的离子阱中的离子6,和上游发送回到到上游离子阱2。所述片段或产品离子然后通过IMS,其中它们在时间上arated根据它们的离子移动性,然...
  • 申请日:2003-5-15    申请号::GB0311199

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  • 质量光谱仪
  • 中文摘要:质谱,其中具有一个特定的希望的电荷状态离子,E。G。多电荷离子,通过操作被选择的一种离子迁移率光谱仪4,优选的是一种离子隧道IMS,在组合与一四极质谱滤波器5。选取的离子可以被分段的或离子的反应以形成子或产品中的离子碰撞电池离子陷波器6,和所述发送回上游到一个上游离子阱2。所述片段或产品然后穿过该IMS的离子,其中...
  • 申请日:2003-5-15    申请号::GB0311199

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