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| - 适于飞行时间质谱仪的离子源真空互联自锁系统
- 中文摘要：本发明公开了一种适于飞行时间质谱仪的离子源真空互联自锁系统，包括微处理器，舱门状态开关，由第一真空电磁阀控制电路、第二真空电磁阀控制电路、第三真空电磁阀控制电路组成的控制电路；所述舱门状态开关的高电位触点与直流电源VCC连接，舱门状态开关的低电位触点通过电阻R1接地。本发明优点在于解决了外部噪声干扰真空电磁阀的工作...
- 申请日：2016-7-6 申请号：：CN201610526341.1
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- 反硝化细菌法生成的氧化亚氮气体氮氧同位素分析仪
- 中文摘要：本发明公开一台用于反硝化细菌法生成的氧化亚氮稳定同位素富集分析仪。其特征是通过本装置可以实现对反硝化细菌法生成的氧化亚氮气体的富集、提纯，除去气体CO2和水汽和细菌反应过程中生成的大量有机成分，避免了杂质气体进入质谱对测试的影响；在实现对氧化亚氮气体中δ18O/16O和δ15N/14N的分析测试同时，通过对氧化亚氮...
- 申请日：2016-7-3 申请号：：CN201610510692.3
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- 氧化亚氮气体氮氧稳定同位素分析前置装置
- 中文摘要：本实用新型涉及一种氧化亚氮气体氮氧稳定同位素分析前置装置，其结构特征是：样品瓶、电冷阱、化学阱、VOC阱通过毛细管依序与六通阀(A)的接点(a1、a6)、液氮冷阱LN1和六通阀(A)的接点(a4、a3)连通；六通阀(A)的接点(a5、a4)通过毛细管依序与冷阱LN2、色谱柱、六通阀(B)的接点(b1、b2)、去水阱...
- 申请日：2016-7-3 申请号：：CN201620687563.7
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- 系统，用于刻蚀控制方法和装置
- 中文摘要：化学同位素富集层材料能够描绘半导体工艺中的材料之间的边界。在蚀刻过程中，通过化学反应层移除这些边界，从而提高挥发性反应产物。利用质谱仪连接到所述蚀刻室中的同位素标记的化合物的浓度，反应产物，该系统能确定已经达到所需的蚀刻深度并终止该蚀刻工艺。
- 申请日：2016-7-1 申请号：：WOUS16040681
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- 一种正交加速区装置、飞行时间质量分析器及质谱仪
- 中文摘要：一种正交加速区装置，包括推斥板、至少两块电极板及调压电路，调压电路包括可调电阻器和若干个电阻，可调电阻器的一端和若干个电阻串联后的一端通过高压脉冲开关接地，另一端均接地，推斥板通过所述高压脉冲开关接地，最后一个电极板接地，其余的电极板分别接到串联电阻之间的结点，可调电位器的可调端连接到串联的电阻的线路上，串联的电阻...
- 申请日：2016-6-30 申请号：：CN201610511798.5
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