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  • 用于测量高深宽比结构的中红外光谱
  • 中文摘要:本文提供了用于在中红外波长下执行半导体结构的高通量光谱测量的方法和系统。 一种傅立叶变换红外(FTIR)光谱仪,包括一个或多个跨越2.5微米和12微米之间的波长范围的测量通道。 FTIR光谱仪在多个不同入射角,方位角,不同波长范围,不同偏振态或其任意组合下测量目标。 在一些实施例中,照明光由激光维持等离子体(LSP...
  • 申请日:2020-1-23    申请号::WOUS20014677

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  • 超小型内窥镜
  • 中文摘要:一种光谱编码的内窥镜光学装置,包括将从成像目标接收的光传输到光谱仪的多模光纤束。 透过多模光纤中的至少一个的基模的光的远场图案不平行于光谱仪的光轴,用于减小光谱仪的输入传感器处的远场图案的不均匀性。 为了进一步减小这种不均匀性,透射通过多模光纤束的基模的远场图案与光谱仪的光轴不平行。
  • 申请日:2020-1-23    申请号::US16751082

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  • 显微拉曼光谱分析仪
  • 中文摘要:“问题”实现对表面具有凹凸形状的样品具有高分析精度的显微拉曼光谱分析装置。 “解决问题的手段”显微拉曼光谱分析仪包括:用于在样品中形成照明光的光束点的送光系统,用于检测来自在样品中形成的光束点的散射光中波长与照明光不同的拉曼散射光的检测系统,作为由送光系统引起的照明光的孔径数的照明孔径数,或检测系统检测出的可变散射...
  • 申请日:2020-1-22    申请号::JP2020008654

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  • 具有光学箔结构以重定向光的定向LED阵列
  • 中文摘要:本发明提供一种照明系统(100),包括:多个N个光源(10),其中N个光源(10)中的每一个被配置为产生光源光(11); 多个N个第一光束整形元件(20),其中N个第一光束整形元件(20)中的每一个被配置在相应光源(10)的下游; -k个光学元件(310)的阵列(300), 其中K个阵列(300)中的每一个包括NK...
  • 申请日:2020-1-21    申请号::WOEP20051360

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  • 防腐蚀工具和防腐蚀方法
  • 中文摘要:一种防腐蚀装置包括:第一光源单元,其设有发光二极管,发光二极管在吸收波段内发射照射光,吸收波段包括由燃烧物体的燃烧产生的第一测量目标的吸收光谱;第二光源单元,设有发光二极管,发光二极管在吸收波长波段内发射辐照光,吸收波长波段包括吸收光谱,该吸收光谱是由燃烧物体的燃烧产生的第二测量目标的吸收光谱并不同于第一测量目标的...
  • 申请日:2020-1-21    申请号::IDP00202106938

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