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| - 用于在高温环境中检测或监测化学前体的设备
- 中文摘要:公开了一种用于监测和/或检测反应室中化学前体浓度的设备和方法。所述设备和方法具有在高温环境中操作的优点。光学发射光谱仪(OES)联接于气体源,例如固体源容器,以便监测或检测到达所述反应室的所述化学前体的输出。替代地,可以周期性地监测流动进入所述OES以及进入真空泵,由此绕过所述反应室的少量前体样品。
- 申请日:2019-2-14 申请号::CN201910114781.X
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- 一种表面等离子体谐振检测仪
- 中文摘要:本实用新型涉及光学领域,更具体地,涉及一种表面等离子体谐振检测仪。包括光源、金属膜和检测装置,还包括凸透镜,若干所述的光源以不同的角度发射出入射光线射在金属膜的同一反射点上,所述的金属膜反射出射光线并经过所述的凸透镜,所述的检测装置设置在凸透镜的光轴上,所述的检测装置接收经凸透镜汇聚的出射光线。无需机械传动装置,进...
- 申请日:2019-2-12 申请号::CN201920191957.7
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- 多层衍射光栅
- 中文摘要:[A]可以容易地制造具有高衍射效率的软X射线衍射光栅。 [解决方案]电磁波(电磁波光谱试验)对软X射线的全反射条件不进入表面材料的内部深处的区域, 例如在由两种物质组成的多层膜上作为反射膜的金属膜通常使用碱性反射材料,以通过产生包括波长在内的宽波长范围来提高衍射效率。 图2[图]
- 申请日:2019-2-12 申请号::JP2019022387
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- 对外部空腔“空腔”的对射激光器及相应的排列和流程
- 中文摘要:一种激光装置(100),包括:电磁辐射源(S),其包括至少一个反射表面(RS),所述源(S)被配置成产生沿着所述源(S)外部的光路(OPa)的光束; 色散级(6),其沿着由所述源(S)产生的所述光束的所述光路(OP)位于所述源(S)的外部,所述色散级(6)包括至少一个反射轴,所述反射轴与所述光束的所述光路(OPa)...
- 申请日:2019-2-12 申请号::IT102019000002013
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- 用于光学和光谱应用的可电子配置的可变孔径和光栅
- 中文摘要:提供了能够电子控制和改变孔径或衍射光的装置和方法。 该方法提供了一种由透明底部电极(TBE),覆盖在TBE上的液晶(LC)材料层和可选择性接合的透明顶部电极(TTE)的场组成的固态器件。 接收入射到TTES的光,并且在一个或多个选择的TTES和TBE之间产生电压差。 结果,在介于所选择的TTE和TBE之间的LC材料...
- 申请日:2019-2-9 申请号::US16271804
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