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| - 原位光束轮廓测量
- 中文摘要:公开了一种用于确定离子束的各种参数的系统。 可以修改测试工件以并入检测图案。 检测图案可以被配置为测量离子束的高度,离子束的均匀性或离子束的圆心角。 在某些实施例中,可以使用光学发射光谱仪(OES)系统来测量撞击检测图案的电流量。 在其它实施例中,用于偏置工件的电源可用于测量撞击检测图案的电流量。 可替换地,检测图...
- 申请日:2018-10-10 申请号::US16156434
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- 一种等离子体发射光谱仪
- 中文摘要:本实用新型公开了一种等离子体发射光谱仪,包括壳体,所述壳体的内部后侧设有燃烧室,所述燃烧室的后侧表面设有观察窗,所述燃烧室的内侧表面前端固定安装有雾化器,所述燃烧室的内部底面通过通孔连接有收集槽,所述收集槽的前侧表面设有连通孔,所述连通孔的内侧表面上端设有安装槽,所述安装槽的内侧表面前端通过铰接轴铰接有密封挡板,所...
- 申请日:2018-10-10 申请号::CN201821639852.5
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- 适用于星载宽谱段相机的光谱定标系统
- 中文摘要:本专利公开一种适用于星载宽谱段相机的光谱定标系统,定标系统由卤素灯、单色仪、三孔通用积分球和高精度光谱仪组成。卤素灯发出的光经过单色仪分光得到单色光,单色光进入三孔通用积分球,入射光经积分球内部面反射之后从其他两个孔透出均匀的光。用高精度光谱仪测量其中一个出光口的辐射亮度,用宽谱段相机对另一个出光口成像。通过计算获...
- 申请日:2018-10-10 申请号::CN201821640467.2
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- 基于马赫-曾德干涉原理的水滴形光纤湿度传感系统
- 中文摘要:本实用新型设计一种基于马赫?曾德干涉原理的水滴形光纤湿度传感系统,属于光纤传感领域;本实用新型与其它湿度传感系统相比具有灵敏度高、结构简单、可同时对温度进行补偿、响应速度快、抗电磁干扰能力强等优点;本实用新型利用从宽带光源发出的光,在涂覆后的水滴形光纤传感器部分与外界作用,再经光纤布拉格光栅进行温度补偿,最后经光谱...
- 申请日:2018-10-10 申请号::CN201821639094.7
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- 一种基于NB-IoT的近红外光谱仪无线数据采集系统
- 中文摘要:本发明公开了一种基于NB?IoT的近红外光谱仪无线数据采集系统,本发明包括光谱仪模块、主控模块、NB?IoT无线通信模块、运营商数据传输网络、物联网云服务器和移动端模块。光谱仪模块、主控模块和NB?IoT无线通信模块组成系统,完成近红外光谱数据采集、模块定位和数据上传,物联网云服务器完成数据解析、存储和发布,通过移...
- 申请日:2018-10-10 申请号::CN201811176452.X
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