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  • 冷却循环系统
  • 中文摘要:本发明提供一种冷却循环系统,用于冷却光谱仪中的X光管及高压发生器,利用压缩机连接冷却管路,冷却管路设置在双层水箱中,对双层水箱中的高纯水进行冷却,结构简单,所需元件数量少;双层水箱中,外层水箱中设置滤网,将外层水箱分割成上部空间和下部空间,冷却管路设置在下部空间中;内层水箱设置在滤网上,滤网作为内层水箱的底面;内层...
  • 申请日:2018-7-18    申请号::CN201810806852.8

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  • 抛光装置和抛光方法
  • 中文摘要:本发明公开了一种抛光设备,其能够以高精度测量膜厚而不影响晶片的抛光速率。 所述抛光设备包括 : 抛光头,所述抛光头构造成将晶片压靠在抛光垫上; 具有设置在形成在抛光台中的流动通道中的远端的照明纤维; 光谱仪,其被配置为根据波长来解析来自晶片的反射光并测量在每个波长处的反射光的强度; 具有设置在流动通道中的远端的光接...
  • 申请日:2018-7-18    申请号::US16039065

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  • 冷却循环系统
  • 中文摘要:本实用新型提供一种冷却循环系统,用于冷却光谱仪中的X光管及高压发生器,利用压缩机连接冷却管路,冷却管路设置在双层水箱中,对双层水箱中的高纯水进行冷却,结构简单,所需元件数量少;双层水箱中,外层水箱中设置滤网,将外层水箱分割成上部空间和下部空间,冷却管路设置在下部空间中;内层水箱设置在滤网上,滤网作为内层水箱的底面;...
  • 申请日:2018-7-18    申请号::CN201821138428.2

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  • 一种光电直读光谱仪移动调节装置
  • 中文摘要:本实用新型提供一种光电直读光谱仪移动调节装置,包括光谱仪主体、安装板、液压缸、连接杆、支撑底座、万向轮、支腿以及支撑轴,安装板固定在光谱仪主体下端面,安装板下端面安装有连接铰链,连接铰链下端面安装有液压缸,液压缸下端面安装有连接杆,连接杆下端面安装有支撑底座,液压缸右侧安装有支腿,支腿内部下侧安装有万向轮,支腿前端...
  • 申请日:2018-7-17    申请号::CN201821127617.X

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  • 一种马赫-曾德尔干涉仪及其制作设备和制作方法
  • 中文摘要:本发明公开了一种马赫?曾德尔干涉仪及其制作设备和制作方法,所述马赫?曾德尔干涉仪为通过光纤布拉格光栅拉锥成型且具有中部束腰的纤芯调制的双锥形微纳啁啾长周期光纤光栅。其制作设备包括光源、拉伸移动台、氢氧火焰拉锥机、光谱分析仪。制作方法包括:去除截取的设定长度光纤布拉格光栅的表面涂覆层;将光纤布拉格光栅两端分别固定于拉...
  • 申请日:2018-7-17    申请号::CN201810781937.5

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