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| - 用于远程等离子体监测的光学发射光谱仪(OES)
- 中文摘要：本申请描述了用于使用远程等离子体来蚀刻基板的方法和系统。远程激发的蚀刻剂被形成在远程等离子体中，并通过喷头流入基板处理区域以蚀刻基板。从基板正上方的基板处理区域获取光学发射光谱。光学发射光谱可用于确定蚀刻的终点，确定蚀刻速率或以其他方式表征蚀刻工艺。弱等离子体可存在于基板处理区域中。弱等离子体可能相较于远程等离子体...
- 申请日：2018-4-10 申请号：：CN201880024330.0
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- 一种小型化多次反射式光声池增强型激光光声光谱的检测仪器及方法
- 中文摘要：一种小型化多次反射式光声池增强型激光光声光谱的检测仪器及方法，属于微量气体检测技术领域。该仪器包括激光光源、光源驱动、光学准直器、小型化多次反射式光声池、进气阀门、出气阀门、传声器、信号采集与处理电路和触摸屏。对激光光源进行波长调制，激光在小型化多次反射式光声池的池壁表面沿径向方向发生多次反射。采用二次谐波检测技术...
- 申请日：2018-4-10 申请号：：CN201810337667.9
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- 远距离测量的激光雷达的大气温度
- 中文摘要：本发明涉及测量工程，涉及激光雷达的大气温度遥测。激光雷达，包括激光辐射源，在其出口处具有发射光学系统，将激光照射到大气中，接收望远镜，其输出通过光纤扰频器的输入端连接，双多色仪，选择对应的纯旋转的光信号的拉曼散射光谱。多色仪的输出通过单纤维状的光波导光连接的光电倍增管(乘数)与输入，电转换信号，其输出连接到数据处理...
- 申请日：2018-4-10 申请号：：RU2018113097
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- 一种光声光谱多组分微量气体检测仪器及方法
- 中文摘要：一种光声光谱多组分微量气体检测仪器及方法，属于微量气体检测技术领域。该仪器包括中红外热辐射光源、聚光镜、斩波器、滤光片组、光声池、激光光源、光学准直器、进气阀门、出气阀门、传声器、控制与信号处理电路和触摸屏。中红外热辐射光经聚光后从纵向耦合到光声池，采用强度调制?基波检测技术测量光声信号；激光则从侧面耦合到光声池中...
- 申请日：2018-4-10 申请号：：CN201810338162.4
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- 一种用于药物在线检测的分析设备
- 中文摘要：本实用新型涉及一种用于药物在线检测的分析设备，包括药物管道，拉曼光谱仪、温度补偿器、气相色谱仪和质谱仪，所述质谱仪与气相色谱仪串联形成第一检测模组，所述质谱仪连接于所述气相色谱仪之后，所述温度补偿器与所述拉曼光谱仪串联形成第二检测模组，所述拉曼光谱仪连接在所述温度补偿器之后，所述第一、二检测模组并联连接在所述药物管...
- 申请日：2018-4-10 申请号：：CN201820502681.5
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