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| - 从衬底处理系统的ESC检测衬底的部分松开
- 中文摘要：本发明提供了一种部分解卡检测系统，其包括发光电路，光谱仪和系统控制器。 发光电路被配置为在衬底被静电夹紧到衬底处理系统的静电卡盘时在衬底的区域处发光。 光谱仪被配置为检测从衬底反射的光并基于检测到的光生成第一输出信号。 所述系统控制器被配置为 : 检测所述第一输出信号中的变化； 检测供应到衬底背面的气体的流速的变化...
- 申请日：2018-2-6 申请号：：US15889625
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- 一种飞秒时间分辨的受激拉曼光谱系统
- 中文摘要：本发明公开了一种飞秒时间分辨受激拉曼光谱系统，所述光谱系统既可以用来探测分子电子基态的振动动力学，也可以用来探测分子电子激发态的振动动力学，能够给出关于分子电子激发态性质，特别是振动激发态动力学等的丰富信息。所述拉曼光谱系统产生激发光、拉曼泵浦光以及探测光；所述光谱仪能够对激发光、拉曼泵浦光进行双斩波调制，并能控制...
- 申请日：2018-2-6 申请号：：CN201810119704.9
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- 一体式量子效率测量仪
- 中文摘要：本实用新型公开了一体式量子效率测量仪，包括：量子效率测量仪主机、积分球，量子效率测量仪主机内安装有激发光模块和光谱仪，激发光模块通过第一光纤连接激发光输出终端，激发光输出终端连接在积分球上并用于输出激发光，积分球通过第二光纤连接光谱仪，光谱仪通过数据线连接计算机；量子效率仪主机的底板上设置有升降柱，积分球固定在升降...
- 申请日：2018-2-6 申请号：：CN201820204161.6
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- 一种光谱仪的中阶梯光栅姿态调整方法和校准装置
- 中文摘要：本发明属于光谱仪分光系统领域，涉及一种光谱仪的中阶梯光栅姿态调整方法和校准装置。本发明的调整方法利用中阶梯光栅的衍射理论，结合分光模块光学系统的具体参数，精确计算中阶梯光栅多个衍射级次的光斑成像在中阶梯光栅姿态调整校准装置上的相对位置，并做出相应标记，据此通过中阶梯光栅固定结构调整中阶梯光栅的三维姿态。本发明的校准...
- 申请日：2018-2-6 申请号：：CN201810116151.1
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- 一种多功能红外光谱仪
- 中文摘要：本实用新型公开了一种多功能红外光谱仪，包括红外光谱仪、箱体、制冷装置和风扇，所述箱体内部设有网状隔层，所述红外光谱仪设于所述网状隔层上方，所述制冷装置设于所述箱体底部，所述风扇设于设于所述制冷装置下方，所述红外光谱仪、风扇和制冷装置与外接电源电连接，通过所述制冷装置和风扇可将冷风吹入箱体，并使空气中的水分凝结在所述...
- 申请日：2018-2-6 申请号：：CN201721331946.1
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