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| - 一种投影物镜和光刻曝光系统
- 中文摘要：本发明公开了一种投影物镜和光刻曝光系统。该投影物镜包括沿光路依次设置的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，第一透镜组包括沿光路依次设置的第一子透镜组和第二子透镜组，第三透镜组包括沿光路依次设置的第三子透镜组和第四子透镜组，投影物镜满足以下关系式：0.3
- 申请日：2018-2-5 申请号：：CN201810113896.2
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- 具有高光谱分辨率的紧凑型光谱仪
- 中文摘要：一种具有位于光谱仪光轴上的狭缝和检测器元件的光谱仪，导致光谱仪的光谱和空间场显著增加。 所述光谱仪比当前设计更紧凑，同时提供优异的空间和光谱图像质量和分辨率。
- 申请日：2018-2-5 申请号：：US15888614
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- 一种光探测器
- 中文摘要：一种设备，包括 : 光源(102)，被配置为产生光脉冲； 其中根据第一代码调制光脉冲的一个或多个属性， 光脉冲的一个或多个属性选自光脉冲的幅度，光脉冲之间的时间间隔，光脉冲的宽度，光脉冲的光谱及其组合； 探测器(104)，被配置为接收包括由目标场景(108)的一部分散射的光脉冲的相应部分的光的混合物， 配置成基于第...
- 申请日：2018-2-3 申请号：：WOCN18075182
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- 一种飞秒时间分辨瞬态吸收光谱仪
- 中文摘要：本实用新型公开了一种飞秒时间分辨瞬态吸收光谱仪，包括：飞秒激光放大器、光学参量放大器、斩波器、时间延迟装置、1/2波片、光纤、棱镜对、提升镜、光谱仪、第一分束片、第二分束片、第一光纤适配器、第二光纤适配器、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、第七反射镜、第八反射镜、第九反射镜、第...
- 申请日：2018-2-2 申请号：：CN201820184148.9
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- 基于光谱干涉法的非接触衬底温度测量技术
- 中文摘要：在一些实施例中，一种用于处理衬底的设备包括 : 衬底支撑件，其位于处理室内； 光源，所述光源直接耦合到光隔离器，并且被配置为当设置在所述衬底支撑件上时将入射光传递到所述衬底的第一表面并穿过所述第一表面； 光纤，其具有与所述第一表面间隔开第一距离的第一端和经由耦合元件直接耦合到所述光源的第二端； 光电检测器，经由所述...
- 申请日：2018-2-2 申请号：：US15887446
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