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| - 半导体衬底上的后电极结构及其制造方法,以及用于制造溅射靶的电极结构
- 中文摘要:一种背面电极的电极结构,形成在半导体衬底的背面上,并且具有多层结构,该多层结构包括按以下顺序层叠的金属层 : Ti层,Ni层和Ag合金层。 Ag合金层包括Ag和选自Sn,Sb和Pd的添加金属M的合金。 背电极的电极结构被配置为使得当在从Ag合金层到Ni层的深度方向上用X射线光电子光谱仪对背电极进行元素分析时, 在N...
- 申请日:2017-12-19 申请号::JP2018558003
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- 共焦测量仪
- 中文摘要:一种共焦测量设备(1),包括光源(10), 一种光学系统(30),其被配置为接收来自测量表面的反射光, 光导部分(20),其中包括第一芯(26)和第二芯(28)的多个芯被构造成通过所述多个芯传播反射光, 偏移量测量部分(40),包括分光镜(42)和周边图像测量部分(60),分光镜(42)被配置为将由第一芯体传播的反...
- 申请日:2017-12-19 申请号::US15846204
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- 一种光谱仪及光谱检测设备
- 中文摘要:本发明的实施例公开一种光谱仪及光谱检测设备,涉及物质检测技术,更加有利于光谱仪的小型化,此外与现有技术相比,更小体积既能够获得与现有技术相同或更高的灵敏性,同时提高了光谱分辨率和光谱测量范围。该一种光谱仪包括:空间滤波器件、分光器件、设置于分光器件的光波输入光路上的准直组件、以及设置于分光器件的光波输出光路上的聚焦...
- 申请日:2017-12-19 申请号::CN201780002736.4
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- 超紧凑的,像差校正的,可见光谱仪手性元透镜
- 中文摘要:一种光学器件包括 : (1)基板;和(2)多个镜片设置在所述基板间,所述超透镜的每个超透镜包括多个nanofins设置在衬底的各个区域,所述nanofins在一起指定的相位分布,所述超透镜。
- 申请日:2017-12-19 申请号::WOUS17067411
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- 半导体衬底的后电极的电极结构,其获得方法和用于制造电极结构的溅射靶
- 中文摘要:字段 : 本发明涉及背电极的电极结构,获得背电极的电极结构的方法和用于形成Ag合金层的溅射靶,所述Ag合金层用于获得背电极的电极结构的方法中。 形成于半导体衬底背面的具有多层结构的背面电极的电极结构包括 : 金属层; 按以下顺序分层 : Ti层, Ni层和Ag层为合金, 其中Ag合金层包括Ag合金和选自Sn的附...
- 申请日:2017-12-19 申请号::RU2019122822
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