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| - 表面检查方法和半导体器件的制造方法
- 中文摘要：提供了一种检查表面的方法和制造半导体器件的方法。 所述方法包括 : 准备衬底；通过设置成像光学系统的放大率来选择第一光学器件的空间分辨率；朝向所述衬底的第一测量区域发射多波长光并获得第一波长特定图像；基于所述第一波长特定图像生成第一光谱数据；基于所述第一波长特定图像生成相应像素的第一光谱数据；以及从所述第一光谱数据...
- 申请日：2017-7-20 申请号：：US15654899
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- 分光镜
- 中文摘要：[A]能够抑制检测精度可降解的小型分光仪。[技术方案]该分光镜1A，光通过部21，在空间S的杂原子，光通过第第一反射部反射的光(L1)1，21，11和，在空间S的杂原子，第第一反射部(11)和第第二反射部反射的光(L1)1，2，12，在空间S的杂原子，第第一反射部反射的光(L1)和12，2，40和频谱的频谱部分，分...
- 申请日：2017-7-19 申请号：：JP2017139876
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- 多个波长选择开关单元
- 中文摘要：本发明中的多个波长选择光开关单元。 本发明的多个波长选择开关单元， 每一个包括多个波长通道的光束，用于传输由多孔组构成的多个输入输出端口阵列， 接通和切换透镜中的输出光束的每个输入端口相交， 开关阵列的输入端口和输出端口设置在多个透镜部件之间， 从第一棱镜角上的阵列输出的光束中的所述多个输出端口是每个组1部分的另一...
- 申请日：2017-7-19 申请号：：JP2019563075
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- 声学共振光谱测定系统和方法
- 中文摘要：公开了一种用于分析样品的声学共振光谱系统， 包括适于产生泵浦光束和探测光束的光泵浦-探测装置， 所述泵浦光束由一系列在千兆赫频谱域中具有重复频率的超短泵浦光脉冲组成， 将泵浦光束导向光声换能器，以在样品中产生相干声子的周期性光栅， 探测光束被导向样品以在声子光栅上形成探测光束的散射光束， 一种频率变化装置，适用于在...
- 申请日：2017-7-19 申请号：：US16318845
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- 具有应力可分散支撑结构层状光栅干涉仪
- 中文摘要：本发明涉及一种能够用于傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪中的层状光栅干涉仪， 所述干涉仪包括圆形的反射表面，并且设置有包括固定反射镜的固定部分和包括可移动反射镜的可移动部分，所述可移动反射镜以交叉的方式与固定反射镜布置以与固定反射镜形成片状结构， 以及多个驱动臂，分别将驱动单元连接到反射表面的可移动部分，并被配置为响...
- 申请日：2017-7-19 申请号：：US15653945
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