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  • 装置和方法
  • 中文摘要:[A]的光源可准确确定,此外,光学膜厚测量装置来准确测量厚度的衬底如晶片的校准所述抛光装置。该装置[A],所述光源发出的光30,上述研磨台3设置在预定位置具有前端,光源(30)连接的光纤(34)突出,从晶片W的反射光,根据各波长的反射光强度的波长分辨分光计26和,在上述研磨台3的位置设置尖端,50,接收光纤26连接...
  • 申请日:2017-5-17    申请号::JP2017098254

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  • 一种基于受激布里渊散射增益光谱的调制系统和方法
  • 中文摘要:本发明涉及一种基于受激布里渊散射增益光谱的调制系统和方法,系统包括:激光器、放大器、光纤耦合器、第一光偏振控制器、电光调制器、第二光偏振控制器、第一光纤环形器、布拉格光栅、单模光纤、第三光偏振控制器,第二光纤环形器、第四光偏振控制器、检偏器以及偏振态分析仪。本发明利用受激布里渊偏振态谱发散效应,通过改变检偏器的检偏...
  • 申请日:2017-5-17    申请号::CN201710345792.X

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  • 具有集成准直结构的光子芯片
  • 中文摘要:本发明涉及在光子芯片的输入/输出处形成的光束以及耦合到芯片的光的光谱展宽。 光子芯片(1)包括支撑在衬底(10)上的光波导层(12)。 该芯片包括由硅制成的光波导结构(121)和耦合表面光栅(122)。 光子芯片具有在面对耦合表面光栅(122)的一侧上的前表面(F1)和在面对衬底(10)的一侧上的后表面(F2)。 ...
  • 申请日:2017-5-17    申请号::FR17054361

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  • 微型光谱仪模块,一种微型光谱仪模块的制造方法和调节方法的反射镜的光学谐振腔微型光谱仪模块的距离
  • 中文摘要:本发明涉及一种微型光谱仪模块(200)构成的光学谐振腔(202),其具有至少1/1反射镜元件(204)和相对第第一反射镜元件(204)间隔开的第第二反射镜元件(206)。至少一个所述反射镜元件(204,206)在光入射部(218)的光谐振器(202)弯曲的和/或可弯曲的设计。所述的微型光谱仪模块(200)还包括光学...
  • 申请日:2017-5-16    申请号::DE102017208207

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  • 一种直读光谱仪
  • 中文摘要:本实用新型公开了一种直读光谱仪,包括分光室、操作台、激发机构,激发机构包括激发台。激发台内设置有电极底座,所述电极底座固定连接有绝缘套,所述绝缘套设置有电极槽,所述电极槽的槽底固定连接有弹簧,所述弹簧的另一端固定连接有电极套,所述电极套固定连接有电极,所述绝缘套穿设有活动固定电极套的固定件,所述激发台设置有封闭绝缘...
  • 申请日:2017-5-16    申请号::CN201720545399.0

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