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| - 光谱仪
- 中文摘要：本申请实施例提供一种光谱仪，包括机座、光学元件以及第一定位件。机座具有容置槽。容置槽具有相互邻接的第一定位面、第二定位面与第三定位面。第一定位面具有开口。光学元件设置于容置槽，其中光学元件的光学功能面朝向开口。第一定位件包括第一固定部、第一延伸部、第二延伸部以及本体。第一固定部固定于容置槽的周边。本体连接第一固定部...
- 申请日：2022-9-28 申请号：：CN202222582131.8
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- 一种基于显微高光谱的原位层析成像系统
- 中文摘要：本实用新型公开了一种基于显微高光谱的原位层析成像系统，涉及高光谱成像技术领域，解决现有无法实现光谱成像、无法精准的确定各微观结构的定性信息的技术问题，包括一种基于显微高光谱的原位层析成像系统，包括高光谱相机、光学成像透镜组和光学显微镜组；高光谱相机包括外壳、成像光谱仪、面阵探测器和精密电控二维平台，光学成像透镜组与...
- 申请日：2022-9-28 申请号：：CN202222575015.3
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- 在晶圆上的微缩化光谱仪
- 中文摘要：?一种在晶圆上的微缩化光谱仪包含多个光侦测器、抗反射层、光栅层、厚膜层以及准直器。抗反射层设置于光侦测器上。光栅层设置于抗反射层上方光栅层包含多个光栅结构以透过厚膜层将光扩散为光谱的光至光侦测器。厚膜层自光栅层连续地延伸至抗反射层厚膜层的厚度在400μ和2000μ的范围内且光栅层的折射率大于厚膜层的折射率。准直器设...
- 申请日：2022-9-28 申请号：：TW111136668
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- 光谱仪
- 中文摘要：?本创作实施例提供一种光谱仪包括一机座、一光学元件以及一第一定位件。机座具有一容置槽。容置槽具有相互邻接的一第一定位面、一第二定位面与一第三定位面。第一定位面具有一开口。光学元件设置于容置槽其中光学元件的光学功能面朝向开口。第一定位件包括一第一固定部、一第一延伸部、一第二延伸部以及一本体。第一固定部固定于容置槽的周...
- 申请日：2022-9-28 申请号：：TW111210548
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- 极紫外收集器检查设备和检查方法
- 中文摘要：一种极紫外(EUV)收集器检查设备，包括：挡光盖，其覆盖待检查的EUV收集器的前表面并且提供其中外部光被阻挡的空间部分；空间部分中的光源，光源具有沿着EUV收集器的中心轴延伸的柱形，光源被配置为输出在紫外(UV)波段至可见光(VIS)波段范围内的辐射光；以及光谱仪，其位于光源上方并且被配置为检测辐射光从EUV收集器...
- 申请日：2022-9-28 申请号：：CN202211189779.7
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