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| - 一种用于化学机械平坦化白光终点检测的采集方法及系统
- 中文摘要：本发明公开了一种用于化学机械平坦化白光终点检测的采集方法，包括以下步骤：抛光台设置白光检测模块，用于收集白光经过晶圆的反射光谱信号，光谱信号随抛光过程膜厚减少而变化；沿抛光台的周向设置挡件；设置触发单元和采集单元，转动与挡件配合；抛光台带着白光检测模块旋转；触发单元逻辑状态变化，以触发白光检测模块的处理单元，向光谱...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202210607065.7
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- 基于光谱色散的三维测量设备与方法
- 中文摘要：本发明公开了一种基于光谱色散的三维测量设备，包括：线光源组件，用于输出一线入射光线；色散物镜组件，用于将线入射光线在轴向上色散展开，使不同波长的入射光线分别聚焦在被测物不同高度的对应测量点上，并接收测量点反射的不同波长的出射光线；滤波组件，包括：小孔阵列，位于出射光线的焦平面上，使聚焦于不同测量点后反射的所述出射光...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202210608158.1
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- 一种对称型、平像场、无胶合的拉曼光谱仪光学系统
- 中文摘要：本申请提供一种对称型、平像场、无胶合的拉曼光谱仪光学系统，包括：从物方至像方依次设置的由第一数量同光轴设置的透镜构成的准直透镜组，和由第二数量同光轴设置的透镜构成的成像透镜组；所述第一数量同光轴设置的透镜及由第二数量同光轴设置的透镜中至少各包括一个两面均为凸面的透镜及至少一个两面均为凹面的透镜；所述准直透镜组中的透...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202210612827.2
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- 一种对称型、平像场、无胶合的拉曼光谱仪光学系统
- 中文摘要：本实用新型提供一种对称型、平像场、无胶合的拉曼光谱仪光学系统，包括：从物方至像方依次设置的由第一数量同光轴设置的透镜构成的准直透镜组，和由第二数量同光轴设置的透镜构成的成像透镜组；所述第一数量同光轴设置的透镜及由第二数量同光轴设置的透镜中至少各包括一个两面均为凸面的透镜及至少一个两面均为凹面的透镜；所述准直透镜组中...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202221358128.1
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- 近红外光谱模型匹配方法
- 中文摘要：本发明涉及近红外光谱处理技术领域，为了简化同型号不同近红外光谱设备的建模过程，提供了一种近红外光谱模型匹配方法，包括：1、采用近红外光谱仪采集已标样本光谱数据；2、获取已标小波段光谱数据；3、构建原始小波段光谱模型库；4、采用同型号待匹配近红外光谱仪采集未标样品光谱数据；5、获取未标小波段光谱数据；6、分别计算未标...
- 申请日：2022-5-31 申请号：：CN202210612885.5
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