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| - 一种可变入射角的光谱椭偏仪
- 中文摘要：本发明公开了一种可变入射角的光谱椭偏仪。为了现有技术对于集成电路芯片制造工艺，椭偏仪测量灵敏度低的问题；本发明包括：偏振光发生组件，将光源起偏成线性偏振光后聚焦到晶圆表面的待测点；偏振光反射组件，将经晶圆反射后的偏振光聚焦到光谱仪的入射狭缝上；入射角选择孔，设置在偏振光发生组件或偏振光反射组件中，通过平移达到根据待...
- 申请日：2022-5-30 申请号：：CN202210627876.3
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- 一种用于集成电路制造中的集成式膜厚测量系统和方法
- 中文摘要：本发明公开了一种用于集成电路制造中的集成式膜厚测量系统和方法，包括用于将线偏振光聚焦在晶圆表面的待测点的入射光路和用于获取光谱以计算被测样品表面的椭偏参数的透射光路，还包括在透射光路分支出的两条用于通过折射获取额外光谱以计算被测样品表面的椭偏参数的折射光路。上述技术方案采用非常规光学系统，在线性偏振光经过晶圆反射后...
- 申请日：2022-5-30 申请号：：CN202210600857.1
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- 一种X射线荧光光谱仪用的样品杯
- 中文摘要：本申请提供一种X射线荧光光谱仪用的样品杯，用于液体样品检测。样品杯包括样品腔、进样口、出样口、窗口及第一薄片，进样口及出样口与样品腔连通并分别位于样品腔的顶侧及底侧，窗口位于样品腔的一旁侧，第一薄片竖向隔开样品腔及窗口。使用时，X射线通过窗口及第一薄片侧向照射样品腔内的液体样品，样品腔的横向深度小于等于5mm。本申...
- 申请日：2022-5-30 申请号：：CN202221317713.7
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- 一种X射线荧光光谱仪用的样品杯
- 中文摘要：本申请提供一种X射线荧光光谱仪用的样品杯，用于液体样品检测。样品杯设有样品池及补液池，样品池由样品杯的顶面的中心处向下凹陷形成，补液池由顶面的周边处向下凹陷形成，所述补液池的底部与所述样品池通过毛细管连通。本申请样品杯通过补液池中的液体样品向样品池内持续补充，检测易挥发液体样品时也能维持检测面的高度稳定，可确保检测...
- 申请日：2022-5-30 申请号：：CN202221317344.1
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- 上转换拉曼传感方法及应用
- 中文摘要：本发明实施例公开了一种上转换拉曼传感方法及应用，该方法包括：根据待分析物的标准拉曼光谱、红外吸收光谱选取第一波长的拉曼光源以及第二波长的红外光源；采用第一波长的拉曼光源、第二波长的红外光源同时照射待分析物以检测出待分析物的上转换拉曼信号。本发明通过该方法不仅能显著提高在复杂环境下对分子指纹的特异性识别能力，同时能有...
- 申请日：2022-5-30 申请号：：CN202210597183.4
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